Кремний карбидинин (SiC) монокристаллдык материалы чоң тилкелик боштукка ээ (~Si 3 эсе), жогорку жылуулук өткөргүчтүгү (~Si 3,3 эсе же GaAs 10 эсе), электрондун каныккан миграция ылдамдыгы (~Si 2,5 эсе), жогорку бузулуу электр талаа (~Si 10 жолу же GaAs 5 эсе) жана башка өзгөчөлүктөр.
Үчүнчү муундун жарым өткөргүч материалдары негизинен SiC, GaN, алмаз ж. Биринчи жана экинчи муундагы жарым өткөргүч материалдар менен салыштырганда, үчүнчү муундагы жарым өткөргүч материалдар жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк, жогорку бузулуу электр талаасы, жогорку каныккан электрон миграция ылдамдыгы жана жогорку байланыш энергиясы менен артыкчылыктарга ээ, бул заманбап электрондук технологиянын жаңы талаптарына жооп бере алат. температура, жогорку кубаттуулук, жогорку басым, жогорку жыштык жана нурланууга каршылык жана башка катаал шарттар. Бул улуттук коргонуу, авиация, аэрокосмостук, мунай чалгындоо, оптикалык сактоо, ж. жарым өткөргүч жарыктандыруу жана акылдуу тармак жана жабдуулардын көлөмүн 75% дан ашык кыскарта алат, бул үчүн маанилүү учур болуп саналат. адамзат илиминин жана техникасынын өнүгүшү.
Semicera Energy кардарларды жогорку сапаттагы өткөргүч (өткөргүч), жарым изоляциялоочу (жарым изоляциялоочу), HPSI (жогорку тазалыктагы жарым изоляциялоочу) кремний карбид субстраты менен камсыздай алат; Мындан тышкары, биз бир тектүү жана гетерогендүү кремний карбид epitaxial барактар менен кардарларды камсыз кыла алат; Биз ошондой эле эпитаксиалдык баракчаны кардарлардын өзгөчө муктаждыктарына жараша ыңгайлаштыра алабыз жана минималдуу заказ саны жок.
ВАФЕРИНГДИН спецификациялары
*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=Жарым изоляциялоочу
| пункт | 8 дюйм | 6-дюйм | 4-дюйм | ||
| нП | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Жаа(GF3YFCD)-Абсолюттук маани | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| Буруу(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10ммх10мм | <2μm | ||||
| Wafer Edge | Бүктөө | ||||
БҮТҮН БҮТҮҮ
*n-Pm=n-тип Pm-класс,n-Ps=n-тип Ps-класс,Sl=Жарым изоляциялоочу
| пункт | 8 дюйм | 6-дюйм | 4-дюйм | ||
| нП | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Беттик бүтүрүү | Эки тараптуу оптикалык поляк, Si- Face CMP | ||||
| SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Face Ra≤ 0,5 нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Face Ra≤0.5nm | |||
| Edge Chips | Эч кимге уруксат берилбейт (узундугу жана туурасы≥0,5мм) | ||||
| чегинүүлөр | Эч кимге уруксат берилбейт | ||||
| Чийүүлөр(Si-Face) | Саны.≤5, Кумулятивдик Length≤0,5×вафли диаметри | Саны.≤5, Кумулятивдик Length≤0,5×вафли диаметри | Саны.≤5, Кумулятивдик Length≤0,5×вафли диаметри | ||
| Жаракалар | Эч кимге уруксат берилбейт | ||||
| Edge Exclusion | 3мм | ||||
