Эттинг процессинин бөлүктөрү

Жарым өткөргүч пластинкасын берүү үчүн PSS иштетүүчү ташыгыч
Ыңгайлаштырылган жарым өткөргүч ICP лоток (оюу)
LED etch кремний карбид подшипник лоток, ICP лоток (Etch)
Жогорку температурага жана коррозияга чыдамдуу LED кремний карбидинен жасалган лоток (ICP оюу лотогу)
RTP/RTA тез жылытуу жылуулук дарылоо үчүн SiC ташуучу
LED өнөр жайындагы ICP оюу процесстери үчүн SiC пин лотоктору
жарым өткөргүч үчүн кремний карбид RTA ташуучу табак
Жарым өткөргүчтөрдү оюу үчүн SiC каптоо ташыгычтары