41 даана 4 дюймдук графит базасы MOCVD жабдууларынын тетиктери

Кыска сүрөттөмө:

Продукцияны киргизүү жана колдонуу: 41 даана 4 сааттык субстрат коюлган, көк-жашыл эпитаксиалдык пленка менен LED өстүрүү үчүн колдонулат

Продукттун аппараттын жайгашкан жери: реакция камерасында, пластинка менен түздөн-түз байланышта

Негизги продуктылар: LED чиптери

Негизги акыркы рынок: LED


Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Description

Биздин компания камсыз кылатSiC каптоокөмүртек жана кремний камтыган атайын газдар жогорку температурада реакцияга кирип, жогорку тазалыктагы SiC молекулаларын, капталган материалдардын бетине чөккөн молекулаларды алуу үчүн графиттин, керамиканын жана башка материалдардын бетинде CVD ыкмасы менен технологиялык кызматтарды көрсөтөт.SiC коргоочу катмар.

41 даана 4 дюймдук графит базасы MOCVD жабдууларынын тетиктери

Негизги өзгөчөлүктөрү

1. Жогорку температурадагы кычкылданууга каршылык:
кычкылданууга каршылык температура 1600 ℃ жогору болгондо дагы абдан жакшы.
2. Жогорку тазалык: жогорку температурада хлордоо шартында химиялык буу коюу жолу менен жасалган.
3. Эрозияга туруштук берүү: жогорку катуулук, компакт бети, майда бөлүкчөлөр.
4. Коррозияга туруктуулугу: кислота, щелоч, туз жана органикалык реагенттер.

 

CVD-SIC жабуунун негизги мүнөздөмөлөрү

SiC-CVD касиеттери
Кристалл структурасы FCC β фазасы
тыгыздыгы г/см³ 3.21
Катуулугу Викерс катуулугу 2500
Дан өлчөмү мкм 2~10
Химиялык тазалык % 99.99995
Жылуулук сыйымдуулугу J·kg-1 ·K-1 640
Сублимация температурасы 2700
Felexural Strength МПа (RT 4-пункту) 415
Young's Modulus Gpa (4pt ийилген, 1300℃) 430
Термикалык кеңейүү (CTE) 10-6К-1 4.5
Жылуулук өткөрүмдүүлүк (Вт/мК) 300
Semicera Жумуш орду
Жарым жылдык жумуш орду 2
Жабдуу машина
CNN иштетүү, химиялык тазалоо, CVD каптоо
Semicera склад үйү
Биздин кызмат

  • Мурунку:
  • Кийинки: