6 lnch n тибиндеги sic субстрат

Кыска сүрөттөмө:

6 дюймдук n-типтеги SiC субстрат‌ – бул 6 дюймдук пластинка өлчөмүн колдонуу менен мүнөздөлгөн жарым өткөргүч материал, ал чоңураак жер үстүндө бир пластинада өндүрүлө турган түзүлүштөрдүн санын көбөйтөт, ошону менен аппарат деңгээлиндеги чыгымдарды азайтат. . 6 дюймдук n-түрү SiC субстраттарын иштеп чыгуу жана колдонуу RAF өсүү ыкмасы сыяктуу технологиялардын өнүгүшүнөн пайда тапты, ал дислокациялар жана параллелдүү багыттар боюнча кристаллдарды кесүү жана кристаллдарды кайра өстүрүү аркылуу дислокацияны азайтат, ошону менен субстраттын сапатын жакшыртат. Бул субстратты колдонуу өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатуу жана SiC кубаттуулук түзүлүштөрүнүн чыгымдарын азайтуу үчүн чоң мааниге ээ.


Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Кремний карбидинин (SiC) монокристаллдык материалы чоң диапазондун кеңдигине (~Si 3 эсе), жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүккө (~Si 3,3 эсеге же GaAs 10 эсеге), электрондун каныккан миграциясынын ылдамдыгына (~Si 2,5 эсе), жогорку бузулуу электр талаа (~Si 10 жолу же GaAs 5 эсе) жана башка өзгөчөлүктөр.

Үчүнчү муундун жарым өткөргүч материалдары негизинен SiC, GaN, алмаз ж. Биринчи жана экинчи муундагы жарым өткөргүч материалдар менен салыштырганда, үчүнчү муундагы жарым өткөргүч материалдар жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк, жогорку бузулуу электр талаасы, жогорку каныккан электрон миграция ылдамдыгы жана жогорку байланыш энергиясы менен артыкчылыктарга ээ, бул заманбап электрондук технологиянын жаңы талаптарына жооп бере алат. температура, жогорку кубаттуулук, жогорку басым, жогорку жыштык жана нурланууга каршылык жана башка катаал шарттар. Бул улуттук коргонуу, авиация, аэрокосмостук, мунай чалгындоо, оптикалык сактоо, ж. жарым өткөргүч жарыктандыруу жана акылдуу тармак жана жабдуулардын көлөмүн 75% га кыскарта алат, бул адамзат илимин жана технологиясын өнүктүрүү үчүн маанилүү.

Semicera Energy кардарларды жогорку сапаттагы өткөргүч (өткөргүч), жарым изоляциялоочу (жарым изоляциялоочу), HPSI (жогорку тазалыктагы жарым изоляциялоочу) кремний карбид субстраты менен камсыздай алат; Мындан тышкары, биз бир тектүү жана гетерогендүү кремний карбид epitaxial барактар ​​менен кардарларды камсыз кыла алат; Биз ошондой эле эпитаксиалдык баракчаны кардарлардын өзгөчө муктаждыктарына жараша ыңгайлаштыра алабыз жана минималдуу заказ саны жок.

ПРОДУКЦИЯНЫН НЕГИЗГИ спецификациялары

Өлчөмү 6 дюймдук
Диаметри 150,0мм+0мм/-0,2мм
Surface Orientation огунан сырткары:4°ка карай<1120>±0,5°
Негизги жалпак узундук 47,5 мм1,5 мм
Негизги жалпак багыт <1120>±1,0°
Экинчи батир Жок
Калыңдыгы 350.0um±25.0um
Политип 4H
Өткөргүч түрү n-түрү

КРИСТАЛДЫН САПАТЫНЫН спецификациялары

6 дюймдук
пункт P-MOS даражасы P-SBD классы
Каршылык 0,015Ω·см-0,025Ω·см
Политип Эч кимге уруксат берилген эмес
Микропродукттун тыгыздыгы ≤0,2/см2 ≤0,5/см2
EPD ≤4000/см2 ≤8000/см2
TED ≤3000/см2 ≤6000/см2
BPD ≤1000/см2 ≤2000/см2
TSD ≤300/см2 ≤1000/см2
SF(UV-PL-355нм менен өлчөнөт) ≤0,5% аянты ≤1% аянты
Жогорку интенсивдүү жарык менен Hex плиталар Эч кимге уруксат берилген эмес
Visual CarbonInclusions жогорку интенсивдүү жарык менен Кумулятивдик аянты≤0,05%
微信截图_20240822105943

Каршылык

Политип

6 lnch n-түрү sic субстрат (3)
6 lnch n-түрү sic субстрат (4)

BPD&TSD

6 lnch n-түрү sic субстрат (5)
SiC вафли

  • Мурунку:
  • Кийинки: