Жаппай CVD SiC Ring

Кыска сүрөттөмө:

Жаппай CVD SiC шакекчелери чийки зат катары кремний булагы газын (мисалы, кремний гидриди) жана көмүртек булагы газын (мисалы, метан) колдонушат, жогорку температурада реакцияга кирип, чоң көлөмдөгү SiC материалдарын субстратка же калыпка салуу үчүн. Бул процесс SiC күчтүү жана ырааттуу шакек түзүмүн түзүп, чоң аймакка бир калыпта жайгаштырууга мүмкүндүк берет.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Эмне үчүн Silicon Carbide Etching Ring?

RTPCVD SiC шакекчелерижогорку температурада жана коррозиялык чөйрөдө өнөр жай жана илимий тармактарда кеңири колдонулат. Ал жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө, оптоэлектроникада, так машиналарда жана химиялык өнөр жайда маанилүү роль ойнойт. Атайын колдонмолорго төмөнкүлөр кирет:

1. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү:RTP CVD SiC шакекчелерижарым өткөргүчтүү жабдууларды жылытуу жана муздатуу үчүн колдонулушу мүмкүн, температураны туруктуу башкарууну камсыз кылуу жана процесстин тактыгын жана ырааттуулугун камсыз кылуу.

2. Optoelektronics: Улам, анын мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүк жана жогорку температурага каршы, RTPCVD SiC шакекчелерилазерлер, була-оптикалык байланыш жабдуулары жана оптикалык компоненттер үчүн колдоо жана жылуулук таркатуучу материалдар катары колдонулушу мүмкүн.

3. Тактык техника: RTP CVD SiC шакекчелери, мисалы, жогорку температура мештери, вакуумдук аппараттар жана химиялык реакторлор сыяктуу жогорку температурада жана коррозиялуу чөйрөдө так аспаптар жана жабдуулар үчүн колдонулушу мүмкүн.

4. Химия өнөр жайы: Коррозияга туруктуулугуна жана химиялык туруктуулугуна байланыштуу, RTP CVD SiC шакекчелери химиялык реакцияларда жана каталитикалык процесстерде контейнерлерде, түтүктөрдө жана реакторлордо колдонулушу мүмкүн.

Epi System

RTP системасы

CVD системасы

Продукт аткаруу:

1. 28nm төмөн жараянын тосуп

2. Супер коррозияга туруктуулук

3. Супер таза аткаруу

4. Супер катуулук

5. Жогорку тыгыздык

6. Жогорку температурага каршылык

7. Кийүүгө каршылык

Продукт колдонуу:

Кремний карбид материалдары жогорку катуулук, тозууга каршылык, коррозияга туруктуулук жана жогорку температуранын туруктуулугу менен мүнөздөлөт. Мыкты комплекстүү аткарууга ээ продуктылар кургак оюу жана TF/Diffusion процесстеринде кеңири колдонулат.