Кремний карбидинин каптоосуна киришүү
Биздин Химиялык Бууну Депозитирлөө (CVD) Кремний Карбид (SiC) каптообуз өтө бышык жана эскирүүгө туруктуу катмар болуп саналат, ал жогорку коррозияга жана жылуулукка туруктуулукту талап кылган чөйрөлөр үчүн идеалдуу.Кремний карбид каптооCVD процесси аркылуу ар кандай субстраттарга жука катмарлар менен колдонулат жана жогорку аткаруу мүнөздөмөлөрүн сунуш кылат.
Негизги өзгөчөлүктөрү
● -Өзгөчө тазалык: Ультра таза курамы менен мактанат99.99995%, биздинSiC каптоосезгич жарым өткөргүч операцияларында булгануу коркунучун азайтат.
● - Жогорку каршылык: Эзүүгө да, коррозияга да эң сонун туруктуулукту көрсөтөт, бул химиялык жана плазмалык орнотууларды кыйындатуу үчүн идеалдуу кылат.
● -Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк: Мыкты жылуулук касиеттеринен улам экстремалдык температурада ишенимдүү иштөөнү камсыз кылат.
● -Өлчөмдүк туруктуулук: Төмөн жылуулук кеңейүү коэффициентинин аркасында температуранын кеңири диапазондорунда структуралык бүтүндүктү сактайт.
● -жакшыртылган катуулугу: Катуулугу рейтинги менен40 GPa, биздин SiC каптоо олуттуу таасирге жана абразияга туруштук берет.
● - Жылмакай бет: Күзгү сымал финиш менен камсыз кылып, бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтып, иштөө натыйжалуулугун жогорулатат.
Тиркемелер
Semicera SiC каптоожарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн ар кандай этаптарында колдонулат, анын ичинде:
● -LED чип даярдоо
● -Полисиликон өндүрүшү
● -Жарым өткөргүч кристаллынын өсүшү
● -Кремний жана SiC эпитаксиясы
● -Термикалык кычкылдануу жана диффузия (TO&D)
Биз жогорку бекем изостатикалык графиттен, көмүртек буласы менен бекемделген көмүртектен жана суюк катмарлуу реакторлор үчүн ылайыкташтырылган 4N кайра кристаллдашкан кремний карбидинен жасалган SiC капталган компоненттерди жеткиребиз,STC-TCS конвертерлери, CZ бирдигинин рефлекторлору, SiC пластинкалуу кайыгы, SiCwafer калакчасы, SiC пластинка түтүгү жана PECVD, кремний эпитаксиясы, MOCVD процесстеринде колдонулган пластиналар ташыгычтар.
Артыкчылыктары
● -Узартылган өмүр: Жабдуулардын токтоп калышын жана техникалык тейлөөгө кеткен чыгымдарды олуттуу кыскартат, өндүрүштүн жалпы натыйжалуулугун жогорулатат.
● -Сапат жакшыртылган: Жарым өткөргүчтөрдү иштетүү үчүн зарыл болгон жогорку тазалыктагы беттерге жетишет, ошону менен продукциянын сапатын жогорулатат.
● -Эффективдүүлүктү жогорулатуу: Термикалык жана CVD процесстерин оптималдаштырып, циклдин кыска мөөнөттөрүн жана жогорку түшүмдүүлүктү берет.
Техникалык мүнөздөмөлөр
● -Структура: FCC β фазалык поликристалдуу, негизинен (111) багытталган
● -Тыгыштык: 3,21 г/см³
● -Катуулугу: 2500 Vickes катуулугу (500г жүк)
● -Сыныктырууга катуулугу: 3.0 МПа·м1/2
● -Жылуулук кеңейүү коэффициенти (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● -Эластикалык модулу(1300℃):435 GPa
● -Типтүү пленканын калыңдыгы:100 мкм
● -Беттин тегиздиги:2-10 мкм
Тазалык маалыматы (Жарык разряддын масса спектроскопиясы менен өлчөнөт)
| Элемент | промилле | Элемент | промилле |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Ал | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
