Индуктивдүү жылытылган эпитаксиялык реактор системасы

Индуктивдүү жылытылган эпитаксиялык реактордун системасы өзгөчөлөнгөн сүрөт

Кыска сүрөттөмө:

Semicera ар кандай эпитаксиялык реакторлор үчүн иштелип чыккан сезгичтердин жана графит компоненттеринин комплекстүү спектрин сунуштайт.

Өнөр жайынын алдыңкы OEMдери менен стратегиялык өнөктөштүк, кеңири материалдардын тажрыйбасы жана өркүндөтүлгөн өндүрүш мүмкүнчүлүктөрү аркылуу Semicera колдонмоңуздун конкреттүү талаптарына жооп берүү үчүн ылайыкташтырылган конструкцияларды берет. Биздин мыктылыкка болгон берилгендигибиз сиздин эпитаксиялык реактордун муктаждыктары үчүн оптималдуу чечимдерди алууга кепилдик берет.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Биздин компания камсыз кылатSiC каптоокөмүртек жана кремний камтыган атайын газдар жогорку температурада реакцияга кирип, жогорку тазалыктагы Sic молекулаларын алуу үчүн CVD ыкмасы менен графиттин, керамиканын жана башка материалдардын бетине иштетүү кызматтарын көрсөтөт.SiC коргоочу катмарбаррель түрү гипнотик үчүн.

Негизги өзгөчөлүктөрү:

1 .Жогорку тазалыктагы SiC капталган графит

2. Жогорку жылуулук каршылык & жылуулук бирдейлиги

3. ЖакшыSiC кристалл капталганжылмакай бети үчүн

4. Химиялык тазалоого каршы жогорку туруктуулук

Индуктивдүү жылытылган эпитаксиялык (LPE) реактор системасы

Негизги спецификацияларыCVD-SIC каптоо

SiC-CVD касиеттери
Кристалл структурасы	FCC β фазасы
тыгыздыгы	г/см³	3.21
Катуулугу	Викерс катуулугу	2500
Дан өлчөмү	мкм	2~10
Химиялык тазалык	%	99.99995
Жылуулук сыйымдуулугу	J·kg-1 ·K-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Felexural Strength	МПа (RT 4-пункту)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt ийилген, 1300℃)	430
Термикалык кеңейүү (CTE)	10-6К-1	4.5
Жылуулук өткөрүмдүүлүк	(Вт/мК)	300