Эттинг процессинин бөлүктөрү

Кремний карбид керамикалык каптоо
Жарым өткөргүчтөрдү оюу үчүн SiC каптоо ташыгычтары
RTP/RTA тез жылытуу жылуулук дарылоо үчүн SiC ташуучу
Жарым өткөргүч пластинкаларды берүү үчүн PSS иштетүүчү ташыгыч
Ыңгайлаштырылган жарым өткөргүч ICP лоток (оюу)
LED etch кремний карбид подшипник лоток, ICP лоток (Etch)
Жогорку температурага жана коррозияга чыдамдуу LED кремний карбидинен жасалган лоток (ICP оюу лотогу)
жарым өткөргүч үчүн кремний карбид RTA ташуучу табак
LED өнөр жайындагы ICP оюу процесстери үчүн SiC пин лотоктору