Жогорку тазалыктагы SiC Carrier/Susceptor

Кыска сүрөттөмө:

Кремний карбид жемиш диск, ошондой эле SIC лоток катары белгилүү, кремний карбиддик оюу диск, ICP оюу диск. LED оюу үчүн кремний карбид табак (SiC лоток) φ600мм терең кремний оюу үчүн атайын кошумча болуп саналат (ICP оюу машина).

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

Description

Кремний карбид керамика бөлмө температурасында мыкты механикалык касиеттерге ээ, мисалы, жогорку күч, жогорку катуулук, жогорку ийкемдүү модулу, ж. иштетүү көрсөткүчү.
Алар литография машиналары сыяктуу интегралдык микросхема жабдыктары үчүн так керамикалык бөлүктөрдү өндүрүү үчүн өзгөчө ылайыктуу, негизинен SiC ташуучу/сусептор, SiC пластинка кайыгы, соргуч диск, суу муздаткыч пластина, так өлчөөчү рефлектор, тор жана башка керамикалык структуралык бөлүктөр.

ташуучу2

ташуучу3

ташуучу4

Артыкчылыктары

Жогорку температурага каршылык: 1800 ℃ кадимки колдонуу
Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк: графит материалына барабар
Жогорку катуулугу: катуулугу алмаздан кийинки экинчи, бор нитриди
Коррозияга каршылык: күчтүү кислота жана щелочтун коррозиясы жок, коррозияга туруктуулугу вольфрам карбидине жана глиноземге караганда жакшыраак
Жеңил салмак: тыгыздыгы төмөн, алюминийге жакын
Деформация жок: жылуулук кеңейүү коэффициенти төмөн
Жылуулук шок каршылык: ал кескин температуранын өзгөрүшүнө туруштук бере алат, жылуулук шок туруштук бере алат, жана туруктуу аткарууга ээ
Кремний карбид ташуучу, мисалы, sic etching ташуучу, ICP etching susceptor, көп жарым өткөргүч CVD колдонулат, вакуум sputtering ж.б. Биз ар кандай колдонмолорду канааттандыруу үчүн кремний жана кремний карбид материалдарын ылайыкташтырылган wafer ташыгычтар менен кардарларды камсыз кыла алат.

Артыкчылыктары

Менчик	Нарк	Метод
тыгыздыгы	3,21 г/cc	Раковина жана өлчөм
Өзгөчө жылуулук	0,66 Дж/г °К	Импульстуу лазер жарыгы
Ийилүүчү күч	450 МПа 560 МПа	4 чекит ийилип, RT4 чекит ийилип, 1300°
Сыныктыруу катуулугу	2,94 МПа м1/2	Микроидентация
Катуулугу	2800	Vicker's, 500 г жүк
Elastic ModulusYoung's Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt ийилген, RT4 pt ийилген, 1300 °C
Дан өлчөмү	2 – 10 мкм	SEM

Компаниянын профили

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. - алдыңкы жарым өткөргүч керамикалардын алдыңкы жеткирүүчүсү жана Кытайдагы бир эле учурда жогорку тазалыктагы кремний карбид керамикасын (айрыкча Recrystallized SiC) жана CVD SiC каптоосун камсыз кыла алган жалгыз өндүрүүчүсү. Мындан тышкары, биздин компания ошондой эле алюминий оксиди, алюминий нитриди, цирконий жана кремний нитриди сыяктуу керамикалык талааларга умтулат.

Биздин негизги өнүмдөр, анын ичинде: кремний карбидинин оюу диски, кремний карбидинин кайыгынын сүйрөөчүсү, кремний карбидинин пластинкасы (Фотоэлектрдик жана жарым өткөргүч), кремний карбид мешинин түтүгү, кремний карбидинин консоль калакчасы, кремний карбид патрондору, кремний карбид нуру, ошондой эле TaC жана CV каптоо. Көбүнчө жарым өткөргүч жана фотоэлектрдик тармактарда колдонулган буюмдар, мисалы, кристалл өстүрүүчү жабдуулар, эпитаксия, оюу, таңгактоо, каптоо жана диффузиялык мештер ж.б.
жөнүндө (2)