SiC Wafer Boat
Кремний карбид вафли кайыкнегизинен күн жана жарым өткөргүчтөрдүн диффузиялык процесстеринде колдонулуучу пластиналар үчүн жүк көтөрүүчү түзүлүш. Ал эскирүү, коррозияга туруктуулук, жогорку температуранын соккусуна туруштук берүү, плазмалык бомбалоолорго туруштук берүү, жогорку температураны көтөрүү жөндөмдүүлүгү, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк, жогорку жылуулук таркатуу жана ийилип жана деформациялоо оңой эмес узак мөөнөттүү колдонуу сыяктуу өзгөчөлүктөргө ээ. Биздин компания кызмат мөөнөтүн камсыз кылуу үчүн жогорку тазалыктагы кремний карбид материалды колдонот жана ылайыкташтырылган долбоорлорду, анын ичинде камсыз кылат. ар кандай вертикалдуу жана туурасынанвафли кайык.
SiC Paddle
Theкремний карбид консоль калакнегизинен кремний пластинкаларын (диффузия) каптоодо колдонулат, ал кремний пластинкаларын жогорку температурада жүктөөдө жана ташууда чечүүчү роль ойнойт. Ал негизги компоненти болуп саналатжарым өткөргүч пластинкажүктөө системалары жана төмөнкү негизги мүнөздөмөлөргө ээ:
1. Ал жогорку температуралуу чөйрөдө деформацияланбайт жана пластинкаларга жогорку жүктөө күчкө ээ;
2. Катуу суукка жана тез ысыкка чыдамдуу, кызмат мөөнөтү узак;
3. жылуулук кеңейүү коэффициенти абдан тейлөө жана тазалоо айлампасын узартуу, кичинекей болуп саналат, жана олуттуу булгоочу заттарды азайтат.
SiC Furnace Tube
Кремний карбид процессинин түтүгү, металлдык аралашмаларсыз жогорку тазалыктагы SiCден жасалган, пластинканы булгабайт жана жарым өткөргүч жана фотоэлектрдик диффузия, күйдүрүү жана кычкылдануу процесси сыяктуу процесстерге ылайыктуу.
SiC Robot Arm
SiC робот колу, ошондой эле пластинанын акыркы эффектору катары белгилүү, жарым өткөргүч пластиналарды ташуу үчүн колдонулган роботтук кол жана жарым өткөргүч, оптоэлектрондук жана күн энергиясы тармактарында кеңири колдонулат. Жогорку тазалыктагы кремний карбидин колдонуу, жогорку катуулук, эскирүү туруктуулугу, сейсмикалык туруктуулук, деформациясыз узак мөөнөттүү пайдалануу, узак кызмат мөөнөтү ж.б.у.с. ылайыкташтырылган кызматтарды көрсөтө алат.
Кристаллдын өсүшү үчүн графит
Графит жылуулук калканч
Графит электрод түтүк
Графит дефлектор
Графит чак
Жарым өткөргүчтөрдү өстүрүү үчүн колдонулган бардык процесстер жогорку температурада жана коррозиялуу чөйрөдө иштейт. Кристалл өсүү мешинин ысык зонасы, адатта, ысыкка чыдамдуу жана коррозияга туруктуу жогорку тазалык менен eguinned. графит компоненттери, мисалы, графит жылыткычтар, тигельдер, цилиндрлер, дефлекторлор, патрондор, түтүктөр, шакекчелер, кармагычтар, гайкалар ж.б.
Жарым өткөргүч эпитаксиясы үчүн графит
MOCVD Graphite бөлүктөрү
Жарым өткөргүчтүү графит арматурасы
Эпитаксиалдык процесс бир кристаллдык материалдын субстрат сыяктуу эле торчо жайгашуусу менен бир кристаллдык субстраттагы өсүшүн билдирет. Ал көптөгөн ультра жогорку тазалыктагы графит бөлүктөрүн жана SIC капталган графит базасын талап кылат. Жарым өткөргүчтүү эпитаксия үчүн колдонулган жогорку тазалыктагы графиттин кеңири спектри бар, алар өнөр жайда эң көп колдонулган жабдууларга дал келет, ошол эле учурда ал өтө жогору. тазалык, бирдей каптоо, мыкты кызмат мөөнөтү, жана өтө жогорку химиялык каршылык жана жылуулук туруктуулук.
Изоляциялык материал жана башкалар
Жарым өткөргүч өндүрүшүндө колдонулган жылуулук изоляциялоочу материалдар графит катуу кийиз, жумшак кийиз, графит фольга, көмүртектүү композиттик материалдар, ж.б. бүтүн. Көмүртек композиттик материалы, адатта, күн монокристалл жана полисиликон клетка өндүрүш процесси үчүн ташуучу катары колдонулат.