Semicera жогорку сапаттагы салтты тартуулайткремний карбид консоль калактарыжарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстерин жогорулатуу үчүн иштелип чыккан. ИнновациялыкSiC калакдизайн өзгөчө туруктуулукту жана жогорку жылуулук туруктуулугун камсыздайт, бул татаал жогорку температуралуу чөйрөлөрдө вафли менен иштөө үчүн маанилүү компоненти болуп саналат.
TheКремний карбид калакжарым өткөргүч өндүрүшүнүн критикалык фазаларында ишенимдүү пластиналарды ташууну камсыз кылуу менен структуралык бүтүндүктү сактоо менен экстремалдык жылуулук циклдарына туруштук берүү үчүн курулган. Жогорку механикалык күч менен, булвафли кайыкжогорку түшүмгө жана ырааттуу өндүрүш сапатына алып келүүчү пластинкалардын бузулуу коркунучун азайтат.
Semicera's SiC калактагы негизги инновациялардын бири анын жеке дизайн варианттарында жатат. Белгилүү өндүрүштүк керектөөлөрдү канааттандырууга ылайыкташтырылган калак ар кандай жабдууларды орнотуу менен интеграциялоодо ийкемдүүлүктү сунуштайт, бул аны заманбап өндүрүш процесстери үчүн идеалдуу чечим кылат. Жеңил, бирок бышык конструкциясы башкарууну жеңилдетет жана операциялык токтоп калууларды азайтып, жарым өткөргүч өндүрүшүнүн натыйжалуулугун жогорулатууга салым кошот.
Анын жылуулук жана механикалык касиеттеринен тышкарыКремний карбид калакмыкты химиялык туруктуулукту сунуштайт, ал катаал химиялык чөйрөдө да ишенимдүү иштөөгө мүмкүндүк берет. Бул, өзгөчө, вафель кайыгынын бүтүндүгүн сактоо жогорку сапаттагы натыйжаларды камсыз кылуу үчүн чечүүчү мааниге ээ болгон оюп-чийме, чөктүрүүнү жана жогорку температурада тазалоону камтыган процесстерде колдонууга өзгөчө ылайыктуу кылат.
Кайра кристаллдашкан кремний карбидинин физикалык касиеттери | |
Менчик | Типикалык баалуулук |
Иштөө температурасы (°C) | 1600°C (кычкылтек менен), 1700°C (редукциялоочу чөйрө) |
SiC мазмуну | > 99,96% |
Акысыз Si мазмуну | < 0,1% |
Массалык тыгыздык | 2,60-2,70 г/см3 |
Көрүнүп турган көзөнөктүүлүк | < 16% |
Кысуу күчү | > 600 МПа |
Муздак ийилген күч | 80-90 МПа (20°C) |
Ысык ийилүүчү күч | 90-100 МПа (1400°C) |
Термикалык кеңейүү @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Жылуулук өткөрүмдүүлүк @1200°C | 23 Вт/м•К |
Эластикалык модулу | 240 GPa |
Термикалык шок каршылык | Абдан жакшы |