Изостатикалык PECVD Graphite Boat

Кыска сүрөттөмө:

Изостатикалык PECVD графит кайыгы жарым өткөргүч өндүрүшүнүн ар кандай звенолорунда кеңири колдонулат, мисалы, полисиликон пленкасы, оксид пленкасы, нитрид пленкасы ж.б.

Бизге электрондук кат жөнөтүү

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

SEMICERA изостатикалык PECVD графиттик кайыгы - бул PECVD (плазмада жакшыртылган химиялык буу катмары) процессинде пластинаны колдоо үчүн иштелип чыккан жогорку тазалыктагы, жогорку тыгыздыктагы графит продуктусу. SEMICERA графит кайыгынын эң сонун жогорку температурага, коррозияга туруктуулугуна, өлчөмдүү туруктуулугуна жана жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүккө ээ болушун камсыз кылуу үчүн изостатикалык пресстөөнүн алдыңкы технологиясын колдонот, бул жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде алмаштырылгыс керектелет.

SEMICERA изостатикалык PECVD графит кайыгынын төмөнкү артыкчылыктары бар:

▪ Жогорку тазалык: Графит материалы жогорку тазалыкта жана пластинка бетинин булганышын болтурбоо үчүн аз ыпластыкта.

▪ Жогорку тыгыздык: Жогорку тыгыздык, жогорку механикалык күч, жогорку температурага жана жогорку вакуумдук чөйрөгө туруштук бере алат.

▪ Жакшы өлчөмдүү туруктуулук: процесстин туруктуулугун камсыз кылуу үчүн жогорку температурада кичине өлчөмдүү өзгөртүү.

▪ Мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүк: Вафли ысып кетүүсүнө жол бербөө үчүн жылуулукту эффективдүү өткөрүңүз.

▪ Күчтүү коррозияга туруктуулук: Ар кандай жегич газдардын жана плазманын эрозиясына туруштук бере алат.

Аткаруу параметри	semicera	SGL R6510	Аткаруу параметри
Массалык тыгыздык (г/см3)	1.91	1.83	1.85
Ийүү күчү (МПа)	63	60	49
Кысуу күчү (МПа)	135	130	103
Жээктин катуулугу (HS)	70	64	60
Термикалык кеңейүү коэффициенти (10-6/К)	85	105	130
Термикалык кеңейүү коэффициенти (10-6/К)	5.85	4.2	5.0
Каршылык (μΩm)	11-13	13	10

Бизди тандоонун артыкчылыктары:
▪ Материалды тандоо: Продукциянын сапатын камсыз кылуу үчүн жогорку тазалыктагы графит материалдары колдонулат.
▪ Кайра иштетүү технологиясы: Продукциянын тыгыздыгын жана бирдейлигин камсыз кылуу үчүн изостатикалык престүү колдонулат.
▪ Өлчөмдү ыңгайлаштыруу: Ар кандай өлчөмдөгү жана формадагы графит кайыктары кардарлардын муктаждыктарына ылайыкташтырылышы мүмкүн.
▪ Беттик тазалоо: Ар кандай процесстин талаптарына жооп берүү үчүн кремний карбиди, бор нитриди ж.