Кремний карбид (SiC) вафли кайыктарыжарым өткөргүч өнөр жайында чечүүчү ролду ойнойт, жогорку сапаттагы электрондук приборлорду чыгарууга көмөктөшөт. Бул макалада укмуштуудай өзгөчөлүктөрүн изилдейтSiC вафли кайыктары, алардын өзгөчө күчтүүлүгүнө жана катуулугуна көңүл буруп, жарым өткөргүч өнөр жайынын өсүшүн колдоодо алардын маанисин баса белгилейт.
ТүшүнүүКремний карбид вафли кайыктары:
Силикон карбид пластинкасынан жасалган кайыктар, ошондой эле SiC кайыктары катары белгилүү, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде колдонулган маанилүү компоненттер. Бул кайыктар жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн ар кандай этаптарында, мисалы, оюу, тазалоо жана диффузияда кремний пластиналар үчүн ташыгыч катары кызмат кылат. SiC пластинкасынан жасалган кайыктар салттуу графиттик кайыктарга караганда артыкчылыкка ээ.
Теңдешсиз күч:
көрүнүктүү өзгөчөлүктөрүнүн бириSiC вафли кайыктарыалардын өзгөчө күчү болуп саналат. Кремний карбиди жогорку ийилүүчү күчкө ээ, бул кайыктарга жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстеринин татаал шарттарына туруштук берүүгө мүмкүндүк берет. SiC кайыктары структуралык бүтүндүгүн бузбастан жогорку температураларга, механикалык стресстерге жана коррозиялык чөйрөлөргө туруштук бере алат. Бул бекемдик назик кремний пластинкаларын коопсуз ташууну жана иштетүүнү камсыздап, өндүрүш учурунда сынуу жана булгануу коркунучун азайтат.
таасирдүү катуулугу:
дагы бир көрүнүктүү өзгөчөлүгүSiC вафли кайыктарыалардын жогорку катуулугу болуп саналат. Кремний карбиди 9,5 Mohs катуулугуна ээ, бул адамга белгилүү болгон эң катуу материалдардын бири. Бул өзгөчө катуулук SiC кайыктарына эң сонун эскирүүгө туруктуулук менен камсыз кылып, алар алып жүргөн кремний пластинкаларынын чийилишин же бузулушун алдын алат. SiC катуулугу да кайыктардын узак иштөөсүнө өбөлгө түзөт, анткени алар жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстеринде ырааттуу аткарууну жана ишенимдүүлүктү камсыз кылып, олуттуу эскирүү белгилерисиз көпкө туруштук бере алат.
Графит кайыктарына караганда артыкчылыктары:
Салттуу графит кайыктарына салыштырмалуу,кремний карбид вафли кайыктарыбир нече артыкчылыктарды сунуш кылат. Графит кайыктары жогорку температурада кычкылданууга жана бузулууга дуушар болушса, SiC кайыктары термикалык деградацияга жана кычкылданууга жогорку туруктуулукту көрсөтөт. Мындан тышкары,SiC вафли кайыктарыграфиттик кайыктарга караганда термикалык кеңейүү коэффициентине ээ, температуранын өзгөрүшү учурунда жылуулук стресстин жана деформациянын коркунучун азайтат. SiC кайыктарынын жогорку бекемдиги жана катуулугу алардын сынууга жана эскирүүсүнө азыраак ыкташат, натыйжада жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө токтоп калуу убактысы кыскарып, өндүрүмдүүлүк жогорулайт.
Жыйынтык:
Кремний карбид пластинкасынан жасалган кайыктар мактоого арзырлык күчтүүлүгү жана катуулугу менен жарым өткөргүч өнөр жайынын ажырагыс компоненттери катары пайда болду. Алардын катаал шарттарга туруштук берүү жөндөмдүүлүгү, алардын жогорку эскирүү туруктуулугу менен бирге, өндүрүш процессинде кремний пластинкаларын коопсуз иштетүүнү камсыз кылат. SiC вафли кайыктары жарым өткөргүч өнөр жайынын өсүшүн жана инновациясын айдап чыгууда маанилүү ролду ойноону улантууда.
Посттун убактысы: 15-апрель-2024