Өндүрүштүк линиянын алдыңкы аягы үйдүн пайдубалын куюп, дубалдарын тургузууга окшош. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө бул этап кремний пластинасында негизги түзүлүштөрдү жана транзисторлорду түзүүнү камтыйт.
FEOL негизги кадамдары:
1. Тазалоо:Жука кремний пластинкасынан баштап, аны тазалоо үчүн бардык кирлерди тазалаңыз.
2. Кычкылдануу:Чиптин ар кандай бөлүктөрүн изоляциялоо үчүн пластинкага кремний диоксидинин катмарын өстүрүңүз.
3. Фотолитография:Фотолитографияны пластинкага оюуларды түшүрүү үчүн колдонуңуз, бул жарык менен схемаларды тартууга окшош.
4. Оюту:Керектүү үлгүлөрдү ачуу үчүн керексиз кремний диоксидин жок кылыңыз.
5. Допинг:Кандайдыр бир чиптин негизги курулуш блоктору болгон транзисторлорду түзүп, анын электрдик касиеттерин өзгөртүү үчүн кремнийге кирлерди киргизиңиз.
Саптын орто аягы (MEOL): чекиттерди туташтыруу
Өндүрүш линиясынын орто аягы үйдө зымдарды жана сантехниканы орнотуу сыяктуу. Бул этап FEOL стадиясында түзүлгөн транзисторлордун ортосундагы байланыштарды түзүүгө багытталган.
MEOL негизги кадамдары:
1. Диэлектриктердин чөгүүсү:Транзисторлорду коргоо үчүн изоляциялык катмарларды (диэлектриктер деп аташат) салыңыз.
2. Байланыш түзүү:Транзисторлорду бири-бирине жана тышкы дүйнөгө туташтыруу үчүн байланыштарды түзүңүз.
3. Өз ара байланыш:Электрдик сигналдар үчүн жолдорду түзүү үчүн металл катмарларын кошуңуз, электр энергиясын жана маалымат агымын үзгүлтүксүз камсыз кылуу үчүн үйдү өткөргүч сыяктуу.
Арткы саптын аягы (BEOL): Аяктоо
-
Өндүрүш линиясынын арткы аягы үйгө акыркы тепкичтерди кошууга окшош - арматураларды орнотуу, сырдоо жана бардыгынын иштешин камсыз кылуу. Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө бул этап акыркы катмарларды кошууну жана чипти таңгактоого даярдоону камтыйт.
BEOL негизги кадамдары:
1. Кошумча металл катмарлары:Өз ара байланышты күчөтүү үчүн бир нече металл катмарларын кошуп, чип татаал тапшырмаларды жана жогорку ылдамдыкты аткара алат.
2. Пассивация:Чипти айлана-чөйрөгө зыян келтирбөө үчүн коргоочу катмарларды колдонуңуз.
3. Сыноо:Чипти бардык спецификацияларга жооп бериши үчүн катуу сыноодон өткөрүңүз.
4. Кесүү:Вафлиди өзүнчө микросхемаларга кесип, ар бири таңгактоого жана электрондук шаймандарда колдонууга даяр.
Посттун убактысы: 2024-08-08