Плазмалык оюу жабдууларында керамикалык компоненттер маанилүү ролду ойнойт, анын ичиндефокус шакек.The фокус шакек, пластинанын тегерегине жайгаштырылган жана аны менен түздөн-түз байланышта, шакекчеге чыңалууну колдонуу менен плазманы вафлиге фокустоо үчүн абдан маанилүү. Бул оюу процессинин бирдейлигин күчөтөт.
SiC Фокус шакекчелерин тешүүчү машиналарда колдонуу
SiC CVD компоненттерисыяктуу оюу машиналарындафокус шакекчелери, газ душ, пластиналар жана четки шакекчелер SiCдин хлор жана фтор негизиндеги газдар менен реакциясынын төмөндүгүнө жана анын өткөргүчтүгүнө байланыштуу жакшы көрүшөт, бул аны плазмалык оюу жабдуулары үчүн идеалдуу материал кылат.
Focus Ring материалы катары SiC артыкчылыктары
Вакуумдук реакция камерасында плазманын түздөн-түз таасирине байланыштуу фокус шакекчелери плазмага туруктуу материалдардан жасалышы керек. Кремнийден же кварцтан жасалган салттуу фокустук шакекчелер фтор негизиндеги плазмалардагы начар жабыштырууга туруштук берип, тез коррозияга жана натыйжалуулуктун төмөндөшүнө алып келет.
Si жана CVD SiC Фокус шакекчелерин салыштыруу:
1. Жогорку тыгыздык:Оютун көлөмүн азайтат.
2. Кең тилке: Мыкты жылуулоону камсыз кылат.
3. Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк жана төмөнкү кеңейүү коэффициенти: Термикалык соккуга туруктуу.
4. Жогорку ийкемдүүлүк:Механикалык таасирге жакшы каршылык.
5. Жогорку Катуулугу: Эс алуу жана коррозияга туруктуу.
SiC кремнийдин электр өткөргүчтүгүн бөлүшөт, ошол эле учурда иондук кыртышка жогорку каршылык көрсөтөт. Интегралдык микросхемаларды миниатюризациялоо процесси өркүндөтүлгөн сайын, эффективдүү оюу процесстерине суроо-талап көбөйөт. Плазманы иштетүүчү жабдуулар, өзгөчө сыйымдуулук менен бириктирилген плазманы (CCP) колдонгондор, жогорку плазма энергиясын талап кылат.SiC фокус шакекчелерибарган сайын популярдуу.
Si жана CVD SiC Focus Ring Параметрлери:
| Параметр | Кремний (Si) | CVD кремний карбиди (SiC) |
| Тыгыздыгы (г/см³) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүк (Вт/см°C) | 1.5 | 5 |
| Жылуулук кеңейүү коэффициенти (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Эластикалык модулу (GPa) | 150 | 440 |
| Катуулугу | Төмөнкү | Жогорку |
SiC Focus шакекчелерин өндүрүү процесси
Жарым өткөргүч жабдууларда, CVD (Химиялык бууларды жайгаштыруу) адатта SiC компоненттерин өндүрүү үчүн колдонулат. Фокустук шакекчелер SiC буусу аркылуу белгилүү бир формага түшүрүү жолу менен даярдалат, андан кийин акыркы продуктту түзүү үчүн механикалык иштетүү. Бууну жайгаштыруу үчүн материалдык катыш кеңири эксперименттен кийин белгиленет, бул каршылык көрсөтүү сыяктуу параметрлерди ырааттуу кылат. Бирок, ар кандай оюу жабдуулары ар кандай каршылыктары бар фокус шакектерди талап кылышы мүмкүн, бул ар бир спецификация үчүн жаңы материал катышы эксперименттерин талап кылат, бул көп убакытты жана чыгымды талап кылат.
Тандоо мененSiC фокус шакекчелеритартыпSemicera Semiconductor, кардарлар наркынын олуттуу өсүшү жок узак алмаштыруу циклдердин жана жогорку аткаруунун артыкчылыктарына жете алышат.
Тез термикалык иштетүү (RTP) компоненттери
CVD SiC өзгөчө жылуулук касиеттери RTP колдонмолору үчүн идеалдуу кылат. RTP компоненттери, анын ичинде четиндеги шакекчелер жана пластиналар, CVD SiC'ден пайда алышат. RTP учурунда интенсивдүү жылуулук импульстары жеке пластинкаларга кыска мөөнөткө колдонулат, андан кийин тез муздатуу. CVD SiC четиндеги шакекчелери ичке жана аз жылуулук массасына ээ болгондуктан, олуттуу жылуулукту сактабайт, бул аларды тез жылытуу жана муздатуу процесстеринен таасир этпейт.
Плазма эгрингинин компоненттери
CVD SiCдин жогорку химиялык туруктуулугу аны оюу колдонмолоруна ылайыктуу кылат. Көптөгөн оюу камералары плазманын дисперсиясы үчүн миңдеген кичинекей тешиктерди камтыган, оюу газдарын таратуу үчүн CVD SiC газ бөлүштүрүүчү плиталарды колдонушат. Альтернативдик материалдарга салыштырмалуу CVD SiC хлор жана фтор газдары менен азыраак реакцияга ээ. Кургак оюу менен CVD SiC компоненттери көбүнчө фокус шакекчелери, ICP пластиналары, чек ара шакекчелери жана душ кабиналары колдонулат.
Плазмалык фокустоо үчүн колдонулган чыңалуу менен SiC фокус шакекчелери жетиштүү өткөрүмдүүлүккө ээ болушу керек. Адатта кремнийден жасалган фокустук шакекчелер фтор жана хлор камтыган реактивдүү газдарга дуушар болуп, сөзсүз коррозияга алып келет. SiC фокус шакекчелери, алардын жогорку коррозияга туруктуулугу менен, кремний шакекчелерге салыштырмалуу узак иштөө мөөнөтүн сунуштайт.
Жашоо циклин салыштыруу:
· SiC Фокус шакекчелери:Ар бир 15-20 күндө алмаштырылат.
· Кремний Фокус шакекчелери:Ар бир 10-12 күндө алмаштырылат.
SiC шакекчелери кремний шакекчелерине караганда 2-3 эсе кымбат болгонуна карабастан, узартылган алмаштыруу цикли жалпы тетиктерди алмаштыруу чыгымдарын азайтат, анткени камеранын бардык эскирүүчү бөлүктөрү фокус шакекчесин алмаштыруу үчүн камера ачылганда бир убакта алмаштырылат.
Semicera жарым өткөргүчтүн SiC фокус шакекчелери
Semicera Semiconductor SiC фокустук шакекчелерин кремний шакекчелерине жакын баада сунуштайт, анын иштөө мөөнөтү болжол менен 30 күн. Semicera's SiC фокус шакекчелерин плазмадан оюу жабдыктарына интеграциялоо менен эффективдүүлүк жана узак мөөнөттүүлүк кыйла жакшырып, жалпы тейлөөгө кеткен чыгымдарды азайтып, өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатат. Кошумчалай кетсек, Semicera кардарлардын конкреттүү талаптарын канааттандыруу үчүн фокус шакекчелеринин каршылыгын ыңгайлаштыра алат.
Semicera Semiconductor компаниясынан SiC фокус шакекчелерин тандоо менен, кардарлар баасын олуттуу жогорулатпастан, узак алмаштыруу циклдеринин жана жогорку көрсөткүчтөрдүн артыкчылыктарына жете алышат.
Посттун убактысы: 2024-жылдын 10-июлуна чейин