Тазалыквафли бетикийинки жарым өткөргүч процесстердин жана буюмдардын квалификациялык көрсөткүчүнө чоң таасирин тийгизет. Бардык түшүмдүүлүктүн 50%ке чейин жоготуулары себеп болотвафли бетибулгануу.
Аппараттын электр көрсөткүчтөрүндө же аппаратты өндүрүү процессинде көзөмөлсүз өзгөрүүлөргө алып келиши мүмкүн болгон объекттер жалпысынан булгоочу заттар деп аталат. Булгоочу заттар пластинанын өзүнөн, таза бөлмөдөн, технологиялык шаймандардан, химиялык заттардан же суудан чыгышы мүмкүн.Вафельбулгануу жалпысынан визуалдык байкоо, процессти текшерүү же акыркы аппаратты сыноодо татаал аналитикалык жабдууларды колдонуу менен аныкталышы мүмкүн.
▲Кремний пластинкаларынын бетиндеги булгоочу заттар | Сүрөт булагы тармагы
Контаминациянын анализинин натыйжалары булгануунун даражасын жана түрүн чагылдыруу үчүн колдонулушу мүмкүн.вафлибелгилүү бир процесс баскычында, белгилүү бир машина же жалпы процесс. аныктоо ыкмаларынын классификациясына ылайык,вафли бетибулгануу төмөнкүдөй түрлөргө бөлүнөт.
Металлдын булганышы
Металлдар менен шартталган булгануу ар кандай деңгээлдеги жарым өткөргүч аппараттын кемчиликтерине алып келиши мүмкүн.
щелочтуу металлдар же щелочтуу жер металлдар (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba ж. б.) pn түзүмүндө агып кетүү агымын пайда кылышы мүмкүн, бул өз кезегинде оксиддин бузулушуна алып келет; өткөөл металл жана оор металл (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb ж.б.) булганышы алып жүрүүчүнүн жашоо циклин кыскартат, компоненттин иштөө мөөнөтүн кыскартат же компонент иштеп жатканда кара токтун күчөшү мүмкүн.
Металлдын булганышын аныктоонун кеңири таралган ыкмалары болуп толук чагылуу рентген флуоресценциясы, атомдук абсорбциялык спектроскопия жана индуктивдүү кошулган плазма масс-спектрометриясы (ICP-MS) саналат.
▲ Вафли бетинин булганышы | ResearchGate
Металлдын булганышы тазалоодо, оюп-түзөөдө, литографияда, түшүрүүдө ж.б. колдонулган реагенттерден же процессте колдонулган мештерден, реакторлордон, ион имплантациясынан ж.
Бөлүкчөлөрдүн булганышы
Чыныгы материалдык кендер, адатта, жер бетиндеги кемчиликтерден чачыраган жарыкты аныктоо аркылуу байкалат. Демек, бөлүкчөлөрдүн булганышынын так илимий аталышы - жарык чекитинин кемтиги. Бөлүкчөлөрдүн булганышы оюу жана литография процесстеринде бөгөт коюу же маскалоочу эффекттерди жаратышы мүмкүн.
Пленка өскөндө же чөккөндө, тешикчелер жана микроболуктар пайда болот жана бөлүкчөлөр чоң жана өткөргүч болсо, алар атүгүл кыска туташууларды да пайда кылышы мүмкүн.
▲ Бөлүкчөлөрдүн булганышынын пайда болушу | Сүрөт булагы тармагы
Кичинекей бөлүкчөлөрдүн булганышы бетинде көлөкө пайда болушу мүмкүн, мисалы, фотолитография учурунда. Эгерде чоң бөлүкчөлөр фотомаска менен фоторезист катмарынын ортосунда жайгашкан болсо, алар контакттык экспозициянын чечүүчүлүгүн азайтышы мүмкүн.
Мындан тышкары, алар ион имплантациялоо же кургак оюу учурунда тездетилген иондорду бөгөттөй алышат. Бөлүкчөлөр да пленка менен курчалган болушу мүмкүн, андыктан бүдүрчөлөр жана бүдүрчөлөр бар. Кийинки депозиттик катмарлар бул жерлерде жарака кетиши же топтолушуна туруштук берип, экспозиция учурунда көйгөйлөрдү жаратышы мүмкүн.
Органикалык булгануу
Көмүртек камтыган булгоочу заттар, ошондой эле С менен байланышкан байланыш түзүмдөрү органикалык булгануу деп аталат. Органикалык булгоочу заттар күтүлбөгөн гидрофобдук касиеттерге алып келиши мүмкүнвафли бети, бетинин оройлугун жогорулатуу, тумандуу бетин өндүрүү, эпитаксиалдык катмардын өсүшүн бузуп, булгоочу заттар биринчи жок кылынбаса, металлдын булганышынын тазалоо таасирине таасир этет.
Мындай беттик булгануу көбүнчө термикалык десорбциялык MS, рентген фотоэлектрондук спектроскопиясы жана Auger электрон спектроскопиясы сыяктуу приборлор аркылуу аныкталат.
▲Image булагы тармагы
Газдуу булгануу жана суунун булганышы
Атмосфералык молекулалар жана молекулярдык өлчөмдөгү суунун булганышы, адатта, кадимки жогорку эффективдүү бөлүкчөлөр абасы (HEPA) же өтө аз өтүүчү аба чыпкалары (ULPA) менен жок кылынбайт. Мындай булгануу адатта иондук масс-спектрометрия жана капиллярдык электрофорез аркылуу көзөмөлдөнөт.
Кээ бир булгоочу заттар бир нече категорияга таандык болушу мүмкүн, мисалы, бөлүкчөлөр органикалык же металлдык материалдардан, же экөө тең болушу мүмкүн, ошондуктан булгануунун бул түрү дагы башка типтерге бөлүнүшү мүмкүн.
▲Газдуу молекулалык булгоочу заттар | IONICON
Мындан тышкары, пластинанын булганышы да булгануу булагынын өлчөмүнө жараша молекулярдык булгануу, бөлүкчөлөр менен булгануу жана процесстен келип чыккан калдыктар менен булгануу катары классификацияланышы мүмкүн. Булгануу бөлүкчөсүнүн өлчөмү канчалык кичине болсо, аны алып салуу ошончолук кыйын болот. Бүгүнкү күндө электрондук компоненттерди өндүрүүдө, вафли тазалоо процедуралары өндүрүш процессинин 30% - 40% түзөт.
▲Кремний пластинкаларынын бетиндеги булгоочу заттар | Сүрөт булагы тармагы
Посттун убактысы: Ноябр-18-2024