SiC субстраттарын иштетүүнүн негизги этаптары кандай?

 

SiC субстраттарын кантип өндүрүү жана кайра иштетүү кадамдары төмөнкүдөй:

 

1. Кристалл багыты:

Кристалл куймасын багыттоо үчүн рентген нурларынын дифракциясын колдонуу. Рентген нуру керектүү кристалл бетине багытталганда, дифракцияланган нурдун бурчу кристаллдын багытын аныктайт.

 

2. Сырткы диаметри майдалоо:

Графит тигелдеринде өстүрүлгөн монокристаллдар көбүнчө стандарттык диаметрден ашат. Сырткы диаметри майдалоо аларды стандарттык өлчөмдөргө чейин азайтат.

 

 

3. Бетти майдалоо:

4 дюймдук 4H-SiC субстраттары, адатта, эки жайгаштыруу четине ээ, негизги жана кошумча. Аяккы бетти майдалоо бул жайгаштыруу четтерин ачат.

 

4. Зым кесүү:

Зым менен кесүү 4H-SiC субстраттарын иштетүүдө чечүүчү кадам болуп саналат. Зымды кесүү учурунда жаракалар жана жер астындагы бузулуулар кийинки процесстерге терс таасирин тийгизип, иштетүү убактысын узартат жана материалдык жоготууга алып келет. Эң кеңири таралган ыкма алмаз абразив менен көп зымды араалоо болуп саналат. 4H-SiC куймасын кесүү үчүн алмаз абразивдери менен туташтырылган металл зымдарынын бири-биринен айлануучу кыймылы колдонулат.

 

5. Чачты кесүү:

Кийинки процесстер учурунда четинин кыйшайып кетүүсүнө жол бербөө жана чыгымдалуучу материалдардын жоготууларын азайтуу үчүн зым менен кесилген чиптердин курч четтери белгиленген формага келтирилет.

 

6. Суюлтуу:

Зым менен кесүү көптөгөн чийиктерди жана жер астындагы зыяндарды калтырат. Бул кемчиликтерди мүмкүн болушунча жоюу үчүн бриллиант дөңгөлөктөрдүн жардамы менен жукартуу жүргүзүлөт.

 

7. Майдалоо:

Бул процесс суюлтуу учурунда пайда болгон калдыктарды жана жаңы бузулууларды жок кылуу үчүн кичине өлчөмдөгү бор карбиди же алмаз абразивдерин колдонуу менен орой майдалоону жана майда майдалоону камтыйт.

 

8. Жылмалоо:

Акыркы кадамдар глинозем же кремний кычкылы абразивдерди колдонуу менен одоно жылтыратууну жана майда жылмалоону камтыйт. Жылмалоочу суюктук бетти жумшартат, андан кийин механикалык түрдө абразивдик каражаттар менен жок кылынат. Бул кадам жылмакай жана бузулбаган бетти камсыз кылат.

 

9. Тазалоо:

Бөлүкчөлөрдү, металлдарды, оксид пленкаларын, органикалык калдыктарды жана кайра иштетүү кадамдарынан калган башка булгоочу заттарды жок кылуу.