Жарым өткөргүч өнөр жайы жогорку сапаттагы электрондук түзүлүштөрдү өндүрүү үчүн жогорку адистештирилген жабдууларга таянат. Эпитаксиалдык өсүү процессиндеги ушундай маанилүү компоненттердин бири epi pan алып жүрүүчү болуп саналат. Бул жабдуу жарым өткөргүч пластинкаларга эпитаксиалдык катмарларды түшүрүүдө негизги ролду ойнойт, акыркы продукттун бирдейлигин жана сапатын камсыз кылат.
Эпитакс ташыгыч, ошондой эле эпитаксиялык таба ташуучу катары белгилүү, эпитаксиалдык өсүү процессинде колдонулган атайын жасалган лоток. Ал эпитаксиалдык катмарларды жайгаштыруу учурунда жарым өткөргүч пластиналарды кармап турат жана колдойт. Бул ташыгычтар монокристалл катмарларынын өсүшү үчүн туруктуу платформаны камсыз кылуучу эпитаксиалдык процесстерге мүнөздүү жогорку температурага жана коррозиялык чөйрөгө туруштук берүү үчүн иштелип чыккан.
Материалдар жана курулуш:
Epi pan ташыгычтар, адатта, экстремалдык температурага туруштук бере ала турган жана химиялык реакцияларга туруктуу материалдардан жасалат. Жалпы материалдар төмөнкүлөрдү камтыйт:
•Кремний карбиди (SiC): Анын жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк жана эскирүү жана кычкылданууга туруктуулугу менен белгилүү, SiC epi pan ташуучулар үчүн популярдуу тандоо болуп саналат.
• Графит: Көбүнчө анын эң сонун жылуулук касиеттери жана жогорку температурада структуралык бүтүндүгүн сактоо мүмкүнчүлүгүнөн улам колдонулат. Графит ташыгычтар, адатта, алардын бекемдигин жана коррозияга туруктуулугун жогорулатуу үчүн SiC менен капталган.
Эпитаксиалдык өсүү процессиндеги ролу:
Эпитаксиалдык өсүү процесси кристаллдык материалдын жука катмарын субстрат же пластинкага түшүрүүнү камтыйт. Бул процесс так электрдик касиеттери бар жарым өткөргүч түзүлүштөрдү түзүү үчүн абдан маанилүү. Эпи таба ташыгыч реакция камерасында пластинканы колдойт жана аны коюу процессинде туруктуу бойдон калуусун камсыздайт.
Epi pan алып жүрүүчүнүн негизги функцияларына төмөнкүлөр кирет:
• Бирдиктүү Жылуулук бөлүштүрүү: Ташуучу пластинка боюнча бирдей жылуулук бөлүштүрүүнү камсыз кылат, бул эпитаксиалдык катмардын ырааттуу калыңдыгына жана сапатына жетишүү үчүн маанилүү.
• Химиялык изоляция: туруктуу жана инерттүү бетти камсыз кылуу менен, ташуучу эпитаксиалдык катмардын сапатын начарлатышы мүмкүн болгон керексиз химиялык реакциялардын алдын алат.
Жогорку сапаттын артыкчылыктарыEpi Pan Carriers:
• Жакшыртылган Түзмөктүн иштеши: Бирдиктүү эпитаксиалдык катмарлар жарым өткөргүч түзүлүштөрдүн мыкты иштешине көмөктөшөт, натыйжада натыйжалуулукту жана ишенимдүүлүктү жогорулатат.
• Түшүмдүүлүктүн жогорулашы: Кемчиликтерди азайтуу жана катмардын бирдей катмарланышын камсыз кылуу менен, жогорку сапаттагы ташыгычтар жарактуу жарым өткөргүч пластинкалардын түшүмүн жакшыртат.
• Техникалык тейлөөгө чыгымдардын азайышы: Узак мөөнөттүү материалдар жана так инженерия тез-тез алмаштырууга жана тейлөөгө муктаждыкты азайтып, жалпы өндүрүштүк чыгымдарды азайтат.
Epi pan алып жүрүүчү жарым өткөргүч түзүлүштөрдүн сапатына жана ырааттуулугуна түздөн-түз таасир этүүчү эпитаксиалдык өсүү процессинин маанилүү компоненти болуп саналат. Туура материалдарды жана дизайнды тандоо менен өндүрүүчүлөр эпитаксиалдык процессти оптималдаштырып, аппараттын иштешин жакшыртат жана өндүрүштүк чыгымдарды азайтат. Өркүндөтүлгөн электрондук шаймандарга суроо-талап өскөн сайын, жогорку сапаттын мааниси чоңepi pan алып жүрүүчүлөржарым өткөргүч өнөр жайында өсүүнү улантууда.
Посттун убактысы: 13-август-2024