Тантал карбиди (TaC)химиялык формуласы TaC x менен тантал менен көмүртектин бинардык кошулмасы, мында х адатта 0,4 жана 1 ортосунда өзгөрөт. Алар металл өткөргүчтүгү менен өтө катуу, морт, отко чыдамдуу керамикалык материалдар. Алар күрөң боз порошок жана көбүнчө агломерация жолу менен иштетилет.
Тантал карбидимаанилүү металл керамикалык материал болуп саналат. Тантал карбидин бир абдан маанилүү пайдалануу тантал карбид каптоо болуп саналат.
Тантал карбид каптоо продукт мүнөздөмөлөрү
Жогорку эрүү температурасы: эрүү чекититантал карбидисыяктуу жогору3880°C, бул аны жогорку температуралык чөйрөдө туруктуу кылат жана эритүү же бузулуу оңой эмес.
Иштөө шарты:Жалпысынан тантал карбидинин нормалдуу иштөө шарты (TaC) 2200°C. Анын өтө жогорку эрүү температурасын эске алуу менен, TaC структуралык бүтүндүгүн жоготпостон, мындай жогорку температурага туруштук берүү үчүн иштелип чыккан.
Катуулугу жана эскирүү туруктуулугу: Бул өтө жогорку катуулукка ээ (Mohs катуулугу болжол менен 9-10) жана натыйжалуу эскирүүгө жана чийилүүгө каршы тура алат.
Химиялык туруктуулук: Көпчүлүк кислоталарга жана щелочторго жакшы химиялык туруктуулукка ээ жана коррозияга жана химиялык реакцияларга туруштук бере алат.
Жылуулук өткөрүмдүүлүк: Жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүк материалга жылуулук топтоо таасирин азайтуу, натыйжалуу таркатууга жана жылуулук өткөрүүгө мүмкүндүк берет.
Жарым өткөргүч тармагында колдонуу сценарийлери жана артыкчылыктары
MOCVD жабдуулар: MOCVD (химиялык бууларды жайгаштыруу) жабдууларында,тантал карбид каптоореакция камерасын жана башка жогорку темп-ралуу тетиктерди коргоо, жаб-дуулардын кендер менен эрозиясын азайтуу жана жабдуулардын кызмат кылуу мөөнөтүн узартуу үчүн колдонулат.
Артыкчылыктары: жабдуулардын жогорку температурага туруктуулугун жогорулатуу, тейлөө жыштыгын жана чыгымдарды азайтуу жана өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатуу.
Вафли иштетүү: Вафли иштетүү жана берүү системаларында колдонулат, тантал карбид жабуулары жабдуулардын эскирүү жана коррозияга туруктуулугун жогорулата алат.
Артыкчылыктары: эскирүү же коррозиядан келип чыккан продукциянын сапатындагы көйгөйлөрдү азайтып, вафлиди иштетүүнүн туруктуулугун жана ырааттуулугун камсыздайт.
Жарым өткөргүч процессинин куралдары: Жарым өткөргүч процессинин шаймандарында, мисалы, ион имплантаторлору жана этчерлер, тантал карбидинин каптоолору аспаптардын туруктуулугун жакшыртат.
Артыкчылыктары: аспаптардын кызмат мөөнөтүн узартуу, токтоп калуу жана алмаштыруу чыгымдарын азайтуу жана өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатуу.
Жогорку температуралуу аймактар: жогорку температура чөйрөлөрүндө электрондук компоненттери жана аппараттар, тантал карбид каптоо жогорку температурадан материалдарды коргоо үчүн колдонулат.
Артыкчылыктары: экстремалдык температура шарттарында электрондук компоненттердин туруктуулугун жана ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу.
Келечектеги өнүгүү тенденциялары
Материалдык жакшыртуу: Материалдык илимдин өнүгүшү менен формулировкалоо жана жайгаштыруу технологиясытантал карбид каптооанын ишин жакшыртуу жана чыгымдарды кыскартуу учун мындан ары да жакшырат. Мисалы, бир кыйла бышык жана арзан каптоочу материалдар иштелип чыгышы мүмкүн.
Депозиттик технология: Тантал карбид жабуунун сапатын жана натыйжалуулугун оптималдаштыруу үчүн жакшыртылган PVD жана CVD технологиялары сыяктуу кыйла эффективдүү жана так коюу технологияларына ээ болуу мүмкүн болот.
Жаңы колдонуу аймактары: Колдонуу аймактарытантал карбид каптоожогорку натыйжалуу материалдарга болгон суроо-талапты канааттандыруу үчүн аэрокосмостук, энергетика жана автомобиль өнөр жайы сыяктуу жогорку технологиялык жана өнөр жай тармактарына кеңейет.
Посттун убактысы: 08-август-2024