Прокаттоо бул кремний монокристалл таякчасынын тышкы диаметрин алмазды жылмалоочу дөңгөлөктүн жардамы менен керектүү диаметрдеги бир кристалл таякчасына майдалоо жана жалпак четине шилтеме бетин же бир кристалл таякчасынын жайгашуу оюгун майдалоо процессин билдирет.
Жалгыз кристаллдуу меш тарабынан даярдалган монокристалл таякчасынын сырткы диаметри бети жылмакай жана жалпак эмес, анын диаметри акыркы колдонууда колдонулган кремний пластинкасынын диаметринен чоңураак. Таякчанын керектүү диаметрин сырткы диаметрди жылдыруу менен алууга болот.
Прокат тегирмени кремний монокристалл таякчасынын жалпак четине таяныч бетин майдалоо же позициялоо оюгу функциясын аткарат, б.а. талап кылынган диаметрдеги бир кристалл таякчасында багыттуу тестирлөө жүргүзүү. Ошол эле прокат станынын жабдыктарында жалпак чети шилтеме бети же монокристалл таякчасынын позициялоочу оюгу майдаланат. Жалпысынан алганда, диаметри 200 ммден ашпаган монокристалл таякчалары жалпак четине шилтеме беттерин, ал эми диаметри 200 мм жана андан жогору болгон монокристалл таякчаларды жайгаштыруу оюктарын колдонушат. Диаметри 200 мм болгон бир кристалл таякчаларды зарылчылыкка жараша жалпак чети шилтеме беттери менен жасоого болот. монокристалл таякча багыттоо маалымдама бетинин максаты интегралдык микросхемалардын өндүрүшүндө технологиялык жабдууларды автоматташтырылган жайгаштыруу операциясынын муктаждыктарын канааттандыруу болуп саналат; өндүрүштү башкарууну жеңилдетүү үчүн кремний пластинкасынын кристаллдык багытын жана өткөргүчтүк түрүн көрсөтүү, ж.б.; негизги жайгаштыруу чети же жайгаштыруу оюгу <110> багытына перпендикуляр. Чипти таңгактоо процессинде кесүү процесси вафлидин табигый бөлүнүшүнө алып келиши мүмкүн, ал эми жайгаштыруу фрагменттердин пайда болушуна жол бербейт.
Тегеректөө процессинин негизги максаттары төмөнкүлөрдү камтыйт: Беттин сапатын жакшыртуу: Тегеректөө кремний пластинкаларынын бетиндеги бүдүрлөрдү жана тегиз эместиктерди жок кыла алат жана кремний пластинкаларынын бетинин жылмакайлыгын жакшыртат, бул кийинки фотолитография жана оюу процесстери үчүн абдан маанилүү. Стрессти азайтуу: Стресс кремний пластиналарды кесүү жана иштетүү учурунда пайда болушу мүмкүн. Тегеректөө бул стресстерди бошотууга жардам берет жана кийинки процесстерде кремний пластинкаларынын сынышын алдын алат. Кремний пластинкаларынын механикалык бекемдигин жогорулатуу: тегеректөө процессинде кремний пластинкаларынын четтери жылмакай болуп калат, бул кремний пластинкаларынын механикалык бекемдигин жакшыртууга жана ташуу жана пайдалануу учурунда зыянды азайтууга жардам берет. Өлчөмдүн тактыгын камсыз кылуу: тегеректөө менен кремний пластинкаларынын өлчөмдүү тактыгын камсыз кылууга болот, бул жарым өткөргүч приборлорду өндүрүү үчүн абдан маанилүү. Кремний пластинкаларынын электрдик касиеттерин жакшыртуу: Кремний пластинкаларынын четтерин иштетүү алардын электрдик касиеттерине маанилүү таасир этет. Тегеректөө кремний пластинкаларынын электрдик касиеттерин жакшыртат, мисалы, агып кетүү агымын азайтат. Эстетика: Кремний пластинкаларынын четтери тегеректелгенден кийин жылмакай жана сулуураак болот, бул кээ бир колдонуу сценарийлери үчүн да зарыл.
Посттун убактысы: 30-июль-2024