Semiceraменен тааныштыратЖарым өткөргүч кассета, жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде пластиналарды коопсуз жана натыйжалуу иштетүү үчүн маанилүү курал. Жогорку тактык менен иштелип чыккан бул кассета пластиналарыңыздын ар бир баскычта бүтүндүгүн сактап, коопсуз сакталышын жана ташылышын камсыздайт.
Жогорку коргоо жана туруктуулукTheЖарым өткөргүч кассетаSemicera сиздин пластинкаңызды максималдуу коргоону камсыз кылуу үчүн курулган. Туруктуу, булганууга туруктуу материалдардан жасалган, ал пластиналарыңызды мүмкүн болуучу зыяндан жана булгануудан коргойт, бул таза бөлмө чөйрөлөрү үчүн идеалдуу тандоо. Кассетанын дизайны бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтат жана пластинкаларды иштетүү жана ташуу учурунда тийбестен жана коопсуз бойдон калышын камсыздайт.
Оптималдуу аткаруу үчүн өркүндөтүлгөн дизайнSemicera'sЖарым өткөргүч кассетатак пластинка тегиздөө менен камсыз кылуу, туура эмес жана механикалык бузулуу коркунучун азайтат кылдаттык менен иштелип чыккан дизайн өзгөчөлүктөрү. Кассетанын уячалары ар бир пластинаны бекем кармап туруу үчүн эң сонун аралыкта жайгаштырылып, чийиктерге же башка кемчиликтерге алып келиши мүмкүн болгон кыймылдардын алдын алат.
Ар тараптуулугу жана шайкештигиTheЖарым өткөргүч кассетаар түрдүү жана ар кандай пластинка өлчөмдөрү менен шайкеш келет, бул жарым өткөргүчтөрдү жасоонун ар кандай баскычтарына ылайыктуу. Сиз стандарттуу же ыңгайлаштырылган пластинка өлчөмдөрү менен иштеп жатасызбы, бул кассета сиздин муктаждыктарыңызга ылайыкташып, өндүрүш процесстериңизде ийкемдүүлүктү сунуштайт.
Ыңгайлаштырылган иштетүү жана эффективдүүлүкКолдонуучуну эске алуу менен иштелип чыкканЖарым өткөргүч кассетажеңил жана жеңил болуп саналат, бул тез жана натыйжалуу жүктөө жана түшүрүү үчүн мүмкүнчүлүк берет. Бул эргономикалык дизайн убакытты үнөмдөп гана тим болбостон, адам катасынын коркунучун азайтып, мекемеңиздин үзгүлтүксүз иштешин камсыздайт.
Өнөр жай стандарттарына жооп берүүSemicera камсыз кылатЖарым өткөргүч кассетасапаты жана ишенимдүүлүгү үчүн жогорку өнөр жай стандарттарына жооп берет. Ар бир кассета жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн татаал шарттарында ырааттуу иштешине кепилдик берүү үчүн катуу сыноодон өтөт. Сапатка берилгендик сиздин пластинкаңыздын ар дайым корголушун камсыздайт жана тармакта талап кылынган жогорку стандарттарды сактайт.
| Items | Өндүрүш | Изилдөө | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Политип | 4H | ||
| Бетти багыттоо катасы | <11-20 >4±0,15° | ||
| Электрдик параметрлер | |||
| Dopant | n-типтеги азот | ||
| Каршылык | 0,015-0,025 Ом·см | ||
| Механикалык параметрлер | |||
| Диаметри | 150,0±0,2мм | ||
| Калыңдыгы | 350±25 мкм | ||
| Негизги жалпак багыт | [1-100]±5° | ||
| Негизги жалпак узундугу | 47,5±1,5мм | ||
| Экинчи батир | Жок | ||
| TTV | ≤5 мкм | ≤10 мкм | ≤15 мкм |
| LTV | ≤3 мкм (5мм*5мм) | ≤5 мкм (5мм*5мм) | ≤10 мкм (5мм*5мм) |
| Жаа | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 мкм | ≤45 мкм | ≤55 мкм |
| Алдыңкы (Si-бет) оройлугу (AFM) | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Структура | |||
| Микропродукттун тыгыздыгы | <1 эа/см2 | <10 эа/см2 | <15 эа/см2 |
| Металл аралашмалары | ≤5E10атом/см2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Quality | |||
| Фронт | Si | ||
| Беттик бүтүрүү | Si-face CMP | ||
| Бөлүктөр | ≤60ea/вафли (өлчөмү≥0,3μm) | NA | |
| сызыктар | ≤5ea/мм. Кумулятивдүү узундук ≤Diameter | Кумулятивдүү узундук≤2*Диаметр | NA |
| Апельсин кабыгы/чуңкурлары/тактары/сызыктар/ жаракалар/булгануу | Жок | NA | |
| Edge чиптер / чегиндилер / сынык / алтылык плиталар | Жок | ||
| Политип аймактары | Жок | Кумулятивдүү аянты≤20% | Кумулятивдүү аянты≤30% |
| Алдыңкы лазердик белгилөө | Жок | ||
| Артка сапаты | |||
| Артка бүтүрүү | C-бет CMP | ||
| сызыктар | ≤5ea/mm,Кумулятивдик узундук≤2*Диаметр | NA | |
| Арткы мүчүлүштүктөр (четиндеги чиптер/чыгымдар) | Жок | ||
| Артка оройлук | Ra≤0,2нм (5мкм*5мкм) | ||
| Артка лазердик белгилөө | 1 мм (жогорку четинен) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Таңгактоо | |||
| Таңгактоо | Вакуумдук таңгак менен эпи-даяр Көп катмарлуу кассеталык таңгак | ||
| *Эскертүү: "NA" эч кандай суроону билдирет. | |||
