Description
Semicorex компаниясынын MOCVD (Металл-Органикалык Химиялык Буунун Депозити) үчүн SiC Wafer Сусцепторлору эпитаксиалдык катмарлоо процесстеринин талаптарын канааттандыруу үчүн иштелип чыккан. Жогорку сапаттагы кремний карбидин (SiC) колдонуу менен, бул сезгичтер жарым өткөргүч материалдардын так жана эффективдүү өсүшүн камсыз кылуу менен жогорку температурада жана коррозиялуу чөйрөдө теңдешсиз туруктуулукту жана аткарууну сунуштайт.
Негизги өзгөчөлүктөрү:
1. Жогорку материалдык касиеттериЖогорку сорттогу SiCден жасалган, биздин пластинкалуу сезгичтер өзгөчө жылуулук өткөрүмдүүлүктү жана химиялык туруктуулукту көрсөтөт. Бул касиеттер аларга MOCVD процесстеринин экстремалдык шарттарына, анын ичинде жогорку температурага жана жегич газдарга туруштук берүүгө мүмкүндүк берип, узак мөөнөттүү жана ишенимдүү аткарууну камсыз кылат.
2. Эпитаксиалдык чөктүрүүдө тактыкБиздин SiC Wafer Susceptors так инженерия пластинка бетинде бирдей температураны бөлүштүрүүнү камсыз кылат, ырааттуу жана жогорку сапаттагы эпитаксиалдык катмардын өсүшүнө өбөлгө түзөт. Бул тактык оптималдуу электрдик касиеттери менен жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн абдан маанилүү болуп саналат.
3. Жакшыртылган туруктуулукКүчтүү SiC материалы катаал процесс чөйрөлөрүнүн үзгүлтүксүз таасири астында да эскирүү жана деградацияга мыкты туруктуулукту камсыз кылат. Бул туруктуулук суссепторду алмаштыруунун жыштыгын азайтат, токтоп калуу убактысын жана операциялык чыгымдарды азайтат.
Тиркемелер:
MOCVD үчүн Semicorexтин SiC Wafer Susceptors үчүн идеалдуу ылайыктуу болуп саналат:
• Жарым өткөргүч материалдардын эпитаксиалдык өсүшү
• Жогорку температурадагы MOCVD процесстери
• GaN, AlN жана башка кошулма жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү
• Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүнүн өркүндөтүлгөн колдонмолору
CVD-SIC жабуунун негизги мүнөздөмөлөрү:
Артыкчылыктары:
•Жогорку тактык: Бир калыпта жана сапаттуу эпитаксиалдык өсүүнү камсыз кылат.
•Узак мөөнөттүү аткаруу: Өзгөчө туруктуулук алмаштыруу жыштыгын азайтат.
• Чыгымдардын натыйжалуулугу: Кыскартылган токтоп туруу жана техникалык тейлөө аркылуу операциялык чыгымдарды азайтат.
•Ар тараптуулугу: Ар кандай MOCVD процессинин талаптарына ылайыкташтырылган.