TaC капталган графит жетектөөчү шакекчелержука катмарынын чөктүрүлүшүнө кайрылыңызтантал карбидианын эскирүүгө туруктуулугун, жогорку температурага туруктуулугун жана химиялык туруктуулугун жакшыртуу үчүн графит багыттоочу шакекченин бетинде. Бул каптоо, адатта, графит жетектөөчү шакекченин бетинде физикалык буу туташтыруу (PVD) же химиялык буу коюу (CVD) сыяктуу ыкмалар менен түзүлөт.
Semicera ар кандай компоненттер жана ташыгычтар үчүн атайын тантал карбид (TaC) каптоо менен камсыз кылат.Semicera алдыңкы каптоо процесси тантал карбидинин (TaC) каптоолоруна жогорку тазалыкка, жогорку температуранын туруктуулугуна жана жогорку химиялык толеранттуулукка жетишүүгө, SIC/GAN кристаллдарынын жана EPI катмарларынын продуктунун сапатын жакшыртууга мүмкүндүк берет (Графит менен капталган TaC сезгич), жана реактордун негизги компоненттеринин иштөө мөөнөтүн узартуу. Тантал карбидинин TaC каптоосун колдонуу четки көйгөйдү чечүү жана кристаллдын өсүшүнүн сапатын жакшыртуу болуп саналат, ал эми Semicera эл аралык алдыңкы деңгээлге чыгып, тантал карбидинин каптоо технологиясын (CVD) чечти.
Көп жылдык өнүгүүдөн кийин, Semicera технологиясын багындырдыCVD TaCилимий-изилдөө бөлүмүнүн биргелешкен аракети менен. SiC пластинкаларынын өсүү процессинде кемчиликтер оңой, бирок колдонуудан кийин пайда болотTaC, айырма олуттуу. Төмөндө бир кристалл өсүш үчүн TaC менен жана жок вафли, ошондой эле Simicera' бөлүктөрүнүн салыштыруу болуп саналат.
TaC капталган графит жетектөөчү шакекчелердин негизги өзгөчөлүктөрү төмөнкүлөрдү камтыйт:
1. Жогорку температурага каршылык: TaC каптоо сонун жогорку температура туруктуулугуна ээ жана жогорку температура чөйрөдө туруктуулукту сактай алат.
2. каршылык кийим: тантал карбид жука катмарынын жогорку катуулугу жетекчилик шакек жакшы эскирүү каршылык берет жана анын кызмат мөөнөтүн узартат.
3. Химиялык туруктуулук: TaC каптоо химиялык коррозияга каршы жогорку туруктуулукка ээ, аны кээ бир жегич медиада колдонуу үчүн ылайыктуу кылат.
4. сүрүлүүнү азайтуу: TaC каптоо натыйжалуу graphite жетектөөчү шакек жана башка компоненттеринин ортосундагы сүрүлүүнү азайтуу жана механикалык пломбалардын натыйжалуулугун жогорулатууга болот.
TaC менен жана жок
TaC колдонгондон кийин (оңдо)
Анын үстүнө, Semicera'sTaC капталган буюмдарсалыштырмалуу узак кызмат мөөнөтүн жана көбүрөөк жогорку температурага каршылык көрсөтөтSiC каптоо.Лабораториялык өлчөөлөр көрсөткөндөй, биздинTaC жабууларыузак убакыт бою 2300 градус Цельсийге чейинки температурада ырааттуу иштей алат. Төмөндө биздин үлгүлөрүнүн кээ бир мисалдары келтирилген:
