CVD TaC каптоо

CVD TaC жабууга киришүү:

CVD TaC каптоо - бул субстраттын бетине тантал карбидин (TaC) каптоосун коюу үчүн химиялык буу катмарын колдонгон технология. Тантал карбиди мыкты механикалык жана химиялык касиеттери бар жогорку натыйжалуу керамикалык материал болуп саналат. CVD процесси газ реакциясы аркылуу субстраттын бетинде бирдей TaC пленкасын жаратат.

Негизги өзгөчөлүктөрү:

Мыкты катуулук жана эскирүү каршылык: Тантал карбиди өтө жогорку катуулукка ээ жана CVD TaC Coating субстраттын эскирүү туруктуулугун бир топ жакшыртат. Бул жабууну кесүүчү инструменттер жана калыптар сыяктуу өтө эскирүүчү чөйрөлөрдө колдонуу үчүн идеалдуу кылат.

Жогорку температуранын туруктуулугу: TaC каптамалары жакшы туруктуулукту көрсөтүп, 2200°Cге чейинки температурада маанилүү мештин жана реактордун компоненттерин коргойт. Ал экстремалдык температура шарттарында химиялык жана механикалык туруктуулукту сактап, аны жогорку температурада иштетүүгө жана жогорку температуралуу чөйрөдө колдонууга ылайыктуу кылат.

Мыкты химиялык туруктуулук: Тантал карбиди көпчүлүк кислоталарга жана щелочторго каршы күчтүү коррозияга туруштук берет жана CVD TaC каптоо коррозиялуу чөйрөдө субстраттын бузулушун алдын алат.

Жогорку эрүү температурасы: Тантал карбиди жогорку эрүү чекитине ээ (болжол менен 3880°C), CVD TaC каптоосун өтө жогорку температуралык шарттарда эрибей же бузулбастан колдонууга мүмкүндүк берет.

Мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүк: TaC жабуусу жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүккө ээ, бул жогорку температуралык процесстерде жылуулукту эффективдүү таркатууга жана жергиликтүү ысып кетүүнүн алдын алууга жардам берет.

Потенциалдуу колдонмолор:

• Галлий нитриди (GaN) жана кремний карбид эпитаксиалдык CVD реакторунун компоненттери, анын ичинде вафли ташыгычтар, спутник антенналары, душ кабиналары, шыптар жана сезгичтер

• Кремний карбиди, галлий нитриди жана алюминий нитриди (AlN) кристалл өстүрүүчү компоненттер, анын ичинде тигельдер, үрөн кармагычтар, жетектөөчү шакекчелер жана фильтрлер

• Өнөр жай компоненттери, анын ичинде каршылык жылытуу элементтери, инжектордук саптамалар, маска шакекчелери жана эритүүчү шаймандар

Колдонмо өзгөчөлүктөрү:

• 2000°Cден жогору туруктуу температура, экстремалдык температурада иштөөгө мүмкүндүк берет
•Суутек (Гц), аммиак (NH3), моносилан (SiH4) жана кремнийге (Si) туруктуу, катаал химиялык чөйрөдө коргоону камсыз кылат.
• Анын термикалык соккуга туруктуулугу тезирээк иштөө циклдерин камсыз кылат
• Graphite узак кызмат мөөнөтүн жана эч кандай каптоо delamination камсыз кылуу, күчтүү адгезия бар.
• Керексиз аралашмаларды же булгоочу заттарды жок кылуу үчүн өтө жогорку тазалык
• Катуу өлчөмдөгү толеранттуулукка ылайыктуу жабуу

Техникалык мүнөздөмөлөр:

CVD менен тыгыз тантал карбид жабууларын даярдоо: