Semicera ар кандай компоненттер жана ташыгычтар үчүн атайын тантал карбид (TaC) каптоо менен камсыз кылат.Semicera алдыңкы каптоо процесси тантал карбидинин (TaC) каптоолоруна жогорку тазалыкка, жогорку температуранын туруктуулугуна жана жогорку химиялык толеранттуулукка жетишүүгө, SIC/GAN кристаллдарынын жана EPI катмарларынын продуктунун сапатын жакшыртууга мүмкүндүк берет (Графит менен капталган TaC сезгич), жана реактордун негизги компоненттеринин иштөө мөөнөтүн узартуу. Тантал карбидинин TaC каптоосун колдонуу четки көйгөйдү чечүү жана кристаллдын өсүшүнүн сапатын жакшыртуу болуп саналат, ал эми Semicera эл аралык алдыңкы деңгээлге чыгып, тантал карбидинин каптоо технологиясын (CVD) чечти.
8 дюймдук кремний карбидинин (SiC) пластинкаларынын пайда болушу менен, ар кандай жарым өткөргүч процесстерине талаптар, айрыкча температура 2000 градус Цельсийден ашкан эпитаксиялык процесстер үчүн барган сайын катуу болуп калды. Кремний карбиди менен капталган графит сыяктуу салттуу сезгич материалдар бул жогорку температурада сублимацияга дуушар болуп, эпитаксия процессин бузушат. Бирок, CVD тантал карбиди (TaC) бул маселени натыйжалуу чечет, 2300 градус Цельсийге чейинки температурага туруштук берет жана узак кызмат мөөнөтүн сунуштайт. Semicera менен байланышыңызs Тантал карбид каптоо Жарым айөнүккөн чечимдерибиз жөнүндө көбүрөөк изилдөө.
Көп жылдык өнүгүүдөн кийин, Semicera технологиясын багындырдыCVD TaCилимий-изилдөө бөлүмүнүн биргелешкен аракети менен. SiC пластинкаларынын өсүү процессинде кемчиликтер оңой, бирок колдонуудан кийин пайда болотTaC, айырма олуттуу. Төмөндө бир кристалл өсүш үчүн TaC менен жана жок вафли, ошондой эле Simicera' бөлүктөрүнүн салыштыруу болуп саналат.
TaC менен жана жок
TaC колдонгондон кийин (оңдо)
Анын үстүнө, Semicera'sTaC капталган буюмдарсалыштырмалуу узак кызмат мөөнөтүн жана көбүрөөк жогорку температурага каршылык көрсөтөтSiC каптоо.Лабораториялык өлчөөлөр көрсөткөндөй, биздинTaC жабууларыузак убакыт бою 2300 градус Цельсийге чейинки температурада ырааттуу иштей алат. Төмөндө биздин үлгүлөрүнүн кээ бир мисалдары келтирилген:
TaC капталган сезгич
TaC капталган реактору бар графит
