TaC Coated Plate - бул SiC эпитаксиалдык процесстеринде колдонуу үчүн иштелип чыккан, жогорку сапаттагы графит материалынан тактык менен жасалган атайын диск. Анын бети өзгөчө тазалыгы жана күчү менен белгилүү болгон тантал карбиди (TaC) менен кылдат капталган. TaC каптоо пластинанын туруктуулугун жана жогорку температурага туруктуулугун жогорулатып, SiC эпитаксиалдык процесстеринин талап кылынган шарттары үчүн идеалдуу кылат.
Бул новатордук TaC капталган пластина - бул SiC эпитаксиалдык процесстеринде колдонуу үчүн иштелип чыккан, жогорку сапаттагы графит материалынан тактык менен жасалган адистештирилген диск. TaC капталган Plate бети кылдаттык менен тантал карбиди (TaC) менен капталган, анын өзгөчө тазалыгы жана күчү менен белгилүү болгон кошулма. SiC эпитаксиалдык өсүшүнүн ар кандай этаптарында пластинкаларды алып жүрүү үчүн ишенимдүү платформа катары кызмат кылат. Анын жогорку тазалыктагы графит негизи туруктуу жана инерттүү бетти камсыз кылат, ал эми TaC каптоо химиялык реакциялардан жана эскирүүдөн коргоонун кошумча катмарын кошот.
жарымдоорTaC капталган Plate кардарлардын өзгөчө талаптарына ылайык ылайыкташтырылган, алардын SiC эпитаксиалдык системалары менен оптималдуу иштешин жана шайкештигин камсыз кылат. Өлчөмү, формасы же башка мүнөздөмөлөрү болобу, бул плиталар ар бир колдонмонун уникалдуу муктаждыктарын канааттандыруу үчүн ылайыкташтырылган.
TaC менен жана жок
TaC колдонгондон кийин (оңдо)
Анын үстүнө, Semicera'sTaC капталган буюмдарсалыштырмалуу узак кызмат мөөнөтүн жана көбүрөөк жогорку температурага каршылык көрсөтөтSiC каптоо.Лабораториялык өлчөөлөр көрсөткөндөй, биздинTaC жабууларыузак убакыт бою 2300 градус Цельсийге чейинки температурада ырааттуу иштей алат. Төмөндө биздин үлгүлөрүнүн кээ бир мисалдары келтирилген:
