SemiceraTaC Coating Chuck, заманбап вакуумдук патрон менен жабдылганTaC жабуулары, атайын жарым өткөргүч мештер үчүн иштелип чыккан. Заманбап жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстеринин катаал талаптарын канааттандыруу үчүн иштелип чыккан бул инновациялык технология тактык, ишенимдүүлүк жана узак мөөнөттүүлүк үчүн жаңы стандартты белгилейт.
Жарым өткөргүчтөрдү жасоонун өзөгүндө кайра иштетүү учурунда так контролдукка жана туруктуулукка болгон маанилүү муктаждык жатат. TaC Coating Chuck өнүккөн интеграциялоо аркылуу бул муктаждыкты чечетTaC (тантал карбиди) каптооанын бетине, өзгөчө жылуулук туруктуулугун, бекемдигин жана химиялык коррозияга туруктуулугун камсыз кылуу. Материалдардын бул уникалдуу айкалышы патрондун иштешин гана жогорулатпастан, анын иштөө мөөнөтүн узартып, сансыз циклдер боюнча ырааттуу натыйжаларды берет.
TaC Coating Chuck негизги артыкчылыктарынын бири бүт кайра иштетүү цикл бою вакуум бүтүндүктүн жогорку денгээлде сактоого жөндөмдүүлүгү болуп саналат. Газды чыгарууну жана булганууну эффективдүү азайтуу менен бул технология жарым өткөргүч материалдардын тазалыгын жана сапатын камсыздайт, натыйжада аппараттын мыкты иштешине жана ишенимдүүлүгүнө ээ болот.
Мындан тышкары, TaC Coating Chuck ар түрдүү өлчөмдөгү жана геометриялык жарым өткөргүч субстраттардын кеңири спектрин камтыган теңдешсиз универсалдуулукту сунуштайт. TaC Coating Chuck'тин ыңгайлаштырылган дизайны иштеп жаткан жарым өткөргүч мештердин системаларына үзгүлтүксүз интеграциялоого, токтоп калууларды азайтууга жана өндүрүмдүүлүктү жогорулатууга мүмкүндүк берет.
TaC Coating Chuck менен жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр жогорку өткөрүү жөндөмдүүлүгүнө, жакшыртылган түшүмдүүлүккө жана жалпы чыгымдарды азайта алышат. Изилдөө лабораторияларында болобу же чоң көлөмдүү өндүрүштүк жайлардабы, бул алдыңкы технология жарым өткөргүч адистерине сапаттын катуу стандарттарын сактоо менен инновациянын чектерин басып өтүүгө мүмкүнчүлүк берет.
TaC менен жана жок
TaC колдонгондон кийин (оңдо)
Анын үстүнө, Semicera'sTaC капталган буюмдарсалыштырмалуу узак кызмат мөөнөтүн жана көбүрөөк жогорку температурага каршылык көрсөтөтSiC каптоо.Лабораториялык өлчөөлөр көрсөткөндөй, биздинTaC жабууларыузак убакыт бою 2300 градус Цельсийге чейинки температурада ырааттуу иштей алат. Төмөндө биздин үлгүлөрүнүн кээ бир мисалдары келтирилген: