Тантал карбиди менен капталган графит баракжука катмары бар графит материалы болуп саналаттантал карбидисубстраттын бетинде. Тантал карбидинин жука катмары, адатта, графит субстраттын бетинде физикалык бууларды жайгаштыруу (PVD) же химиялык бууларды жайгаштыруу (CVD) сыяктуу ыкмалар менен түзүлөт. Бул жабуунун жогорку катуулугу, сонун эскирүү туруктуулугу, коррозияга туруктуулугу жана жогорку температуранын туруктуулугу сыяктуу сонун касиеттери бар.
Semicera ар кандай компоненттер жана ташыгычтар үчүн атайын тантал карбид (TaC) каптоо менен камсыз кылат.Semicera алдыңкы каптоо процесси тантал карбидинин (TaC) каптоолоруна жогорку тазалыкка, жогорку температуранын туруктуулугуна жана жогорку химиялык толеранттуулукка жетишүүгө, SIC/GAN кристаллдарынын жана EPI катмарларынын продуктунун сапатын жакшыртууга мүмкүндүк берет (Графит менен капталган TaC сезгич), жана реактордун негизги компоненттеринин иштөө мөөнөтүн узартуу. Тантал карбидинин TaC каптоосун колдонуу четки көйгөйдү чечүү жана кристаллдын өсүшүнүн сапатын жакшыртуу болуп саналат, ал эми Semicera эл аралык алдыңкы деңгээлге чыгып, тантал карбидинин каптоо технологиясын (CVD) чечти.
Көп жылдык өнүгүүдөн кийин, Semicera технологиясын багындырдыCVD TaCилимий-изилдөө бөлүмүнүн биргелешкен аракети менен. SiC пластинкаларынын өсүү процессинде кемчиликтер оңой, бирок колдонуудан кийин пайда болотTaC, айырма олуттуу. Төмөндө бир кристалл өсүш үчүн TaC менен жана жок вафли, ошондой эле Simicera' бөлүктөрүнүн салыштыруу болуп саналат.
тантал карбид капталган графит барактын негизги артыкчылыктары төмөнкүлөрдү камтыйт:
1. Жогорку температурага каршылык: Тантал карбиди жогорку эрүү чекитине жана мыкты жогорку температура туруктуулугуна ээ, капталган графит баракты жогорку температуралуу шарттарда колдонууга ылайыктуу.
2. Коррозияга каршылык: Тантал карбид каптоо көптөгөн химиялык жегич заттардын эрозиясына туруштук бере алат жана материалдын кызмат мөөнөтүн узартат.
3. Жогорку катуулугу: тантал карбид жука катмарынын жогорку катуулугу жакшы эскирүү каршылык камсыз кылат жана жогорку эскирүү каршылык талап колдонмолор үчүн ылайыктуу болуп саналат.
4. Химиялык туруктуулук: Тантал карбид каптоо химиялык коррозияга мыкты туруктуулукка ээ жана кээ бир жегич медиа колдонуу үчүн жарактуу болуп саналат.
TaC менен жана жок
TaC колдонгондон кийин (оңдо)
Анын үстүнө, Semicera'sTaC капталган буюмдарсалыштырмалуу узак кызмат мөөнөтүн жана көбүрөөк жогорку температурага каршылык көрсөтөтSiC каптоо.Лабораториялык өлчөөлөр көрсөткөндөй, биздинTaC жабууларыузак убакыт бою 2300 градус Цельсийге чейинки температурада ырааттуу иштей алат. Төмөндө биздин үлгүлөрүнүн кээ бир мисалдары келтирилген:
