Semicera ар кандай компоненттер жана ташыгычтар үчүн атайын тантал карбид (TaC) каптоо менен камсыз кылат.Semicera алдыңкы каптоо процесси тантал карбидинин (TaC) каптоолоруна жогорку тазалыкка, жогорку температуранын туруктуулугуна жана жогорку химиялык толеранттуулукка жетишүүгө, SIC/GAN кристаллдарынын жана EPI катмарларынын продуктунун сапатын жакшыртууга мүмкүндүк берет (Графит менен капталган TaC сезгич), жана реактордун негизги компоненттеринин иштөө мөөнөтүн узартуу. Тантал карбидинин TaC каптоосун колдонуу четки көйгөйдү чечүү жана кристаллдын өсүшүнүн сапатын жакшыртуу болуп саналат, ал эми Semicera эл аралык алдыңкы деңгээлге чыгып, тантал карбидинин каптоо технологиясын (CVD) чечти.
Тантал карбидинин коррозияга туруктуу каптоочу шакекчелери химиялык, мунай жана газ өнөр жайларында, электрондук жабдууларда, медициналык аппараттарда ж. жабдуулардын кызмат мөөнөтү, жана продукт туруктуулугун жана ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу.
Тантал карбидинин коррозияга туруктуу каптоо шакекчелеринин мүнөздөмөлөрү төмөнкүдөй:
1. Коррозияга туруштук берүү: Тантал карбидинин каптоолору ар кандай дат басуучу каражаттар менен эрозияга туруштук бере алат, анын ичинде кислоталар, щелочтор жана туздар сыяктуу химиялык заттар, коррозияга мыкты туруктуулукту камсыз кылат.
2. Жогорку температуранын туруктуулугу: Тантал карбид жабуулары жогорку температура чөйрөлөрүндө структуралык туруктуулукту жана жакшы коррозияга туруктуулугун сактай алат жана жогорку температурадагы жегичтүү чөйрөлөрдө колдонуу үчүн ылайыктуу.
3. Төмөн сүрүлүү коэффициенти: Тантал карбидинин каптамалары сүрүлүү коэффициентине ээ, каптоо жана башка материалдардын ортосундагы сүрүлүү жоготууларын жана энергия керектөөнү азайтат.
4. Жогорку катуулугу: тантал карбид жабуулары жогорку катуулук бар жана дат медиа тарабынан материалдын бетине чийилүүгө жана зыян туруштук бере алат.
TaC менен жана жок
TaC колдонгондон кийин (оңдо)
Анын үстүнө, Semicera'sTaC капталган буюмдарсалыштырмалуу узак кызмат мөөнөтүн жана көбүрөөк жогорку температурага каршылык көрсөтөтSiC каптоо.Лабораториялык өлчөөлөр көрсөткөндөй, биздинTaC жабууларыузак убакыт бою 2300 градус Цельсийге чейинки температурада ырааттуу иштей алат. Төмөндө биздин үлгүлөрүнүн кээ бир мисалдары келтирилген:
