MEMS Processing - Байланыш: Жарым өткөргүч индустриясында колдонуу жана аткаруу, Semicera ылайыкташтырылган кызматы
Микроэлектроника жана жарым өткөргүч тармактарында MEMS (микроэлектромеханикалык системалар) технологиясы инновацияларды жана жогорку өндүрүмдүүлүктөгү жабдууларды иштеткен негизги технологиялардын бири болуп калды. Илимдин жана технологиянын өнүгүшү менен MEMS технологиясы сенсорлордо, кыймылдаткычтарда, оптикалык приборлордо, медициналык жабдууларда, автомобиль электроникасында жана башка тармактарда кеңири колдонулуп, акырындык менен заманбап технологиянын ажырагыс бөлүгү болуп калды. Бул тармактарда, MEMS иштетүүдө негизги кадам катары байланыш процесси (Байланыш) аппараттын иштешинде жана ишенимдүүлүгүндө маанилүү роль ойнойт.
Байланыш - бул эки же андан көп материалдарды физикалык же химиялык жол менен бекем бириктирген технология. Адатта, ар кандай материалдык катмарлар структуралык бүтүндүгүн жана функционалдык ишке ашыруу үчүн MEMS түзмөктөрдө байланыш аркылуу туташтыруу керек. MEMS түзүлүштөрүн өндүрүү процессинде, бириктирүү бир гана туташуу процесси эмес, ошондой эле жылуулук туруктуулугуна, механикалык бекемдигине, электрдик натыйжалуулугуна жана аппараттын башка аспектилерине түздөн-түз таасир этет.
Жогорку тактыктагы MEMS иштетүүдө, бириктирүү технологиясы аппараттын иштешине таасир этүүчү кемчиликтерди болтурбай, материалдардын ортосундагы тыгыз байланышты камсыз кылышы керек. Ошондуктан, бириктирүү жараянын так контролдоо жана жогорку сапаттагы байланыш материалдары акыркы продукт өнөр жай стандарттарына жооп берүү үчүн негизги факторлор болуп саналат.
Жарым өткөргүч тармагында MEMS байланыш колдонмолору
Жарым өткөргүч тармагында MEMS технологиясы сенсорлор, акселерометрлер, басым сенсорлору жана гироскоптор сыяктуу микро приборлорду өндүрүүдө кеңири колдонулат. Кичирейтилген, интеграцияланган жана интеллектуалдык өнүмгө болгон суроо-талаптын өсүшү менен MEMS түзмөктөрүнүн тактыгы жана аткаруу талаптары да көбөйүүдө. Бул колдонмолордо, бириктирүү технологиясы кремний пластиналар, айнек, металлдар жана полимерлер сыяктуу ар кандай материалдарды туташтыруу үчүн колдонулат, натыйжалуу жана туруктуу функцияларга жетишүү.
1. Басым сенсорлору жана акселерометрлер
Автоунаа, аэрокосмостук, керектөөчү электроника ж.б. тармактарда MEMS басым сенсорлору жана акселерометрлери өлчөө жана башкаруу системаларында кеңири колдонулат. Байланыш процесси жогорку сезгичтикти жана тактыкты камсыз кылуу үчүн кремний чиптерин жана сенсор элементтерин туташтыруу үчүн колдонулат. Бул сенсорлор экстремалдык экологиялык шарттарга туруштук бере алышы керек жана жогорку сапаттагы байланыш процесстери материалдардын температуранын өзгөрүшүнө байланыштуу ажырап кетүүсүнө же иштебей калышына натыйжалуу жол бербейт.
2. Микро-оптикалык приборлор жана MEMS оптикалык өчүргүчтөрү
Оптикалык байланыш жана лазердик түзүлүштөр тармагында MEMS оптикалык приборлор жана оптикалык өчүргүчтөр маанилүү роль ойнойт. Байланыш технологиясы кремний негизиндеги MEMS түзмөктөр менен оптикалык була жана күзгү сыяктуу материалдардын ортосунда так байланышка жетүү үчүн колдонулат, оптикалык сигнал берүүнүн натыйжалуулугун жана туруктуулугун камсыз кылуу. Айрыкча, жогорку жыштык, кең өткөрүү жана узак аралыкка берүү менен колдонмолордо, жогорку натыйжалуу байланыш технологиясы өтө маанилүү болуп саналат.
3. MEMS гироскоптору жана инерциялык сенсорлор
MEMS гироскоптору жана инерциялык сенсорлор автономдуу айдоо, робототехника жана аэрокосмос сыяктуу жогорку өнүккөн тармактарда так навигация жана жайгашуу үчүн кеңири колдонулат. Жогорку тактыктагы бириктирүү процесстери түзмөктөрдүн ишенимдүүлүгүн камсыздай алат жана узак мөөнөттүү же жогорку жыштыктагы операция учурунда өндүрүмдүүлүктүн төмөндөшүнөн же бузулушунан сактайт.
MEMS иштетүүдө бириктирүү технологиясын аткаруунун негизги талаптары
MEMS иштетүүдө, байланыш процессинин сапаты түздөн-түз аппараттын иштешин, өмүрүн жана туруктуулугун аныктайт. MEMS түзмөктөрү ар кандай колдонуу сценарийлеринде узак убакыт бою ишенимдүү иштешин камсыз кылуу үчүн, байланыш технологиясы төмөнкү негизги көрсөткүчтөргө ээ болушу керек:
1. Жогорку жылуулук туруктуулугу
Жарым өткөргүч өнөр жайындагы көптөгөн колдонуу чөйрөлөрүндө жогорку температуралык шарттар бар, айрыкча автомобиль, аэрокосмостук ж.б. тармактарда. Байланыш материалынын жылуулук туруктуулугу өтө маанилүү жана температуранын өзгөрүшүнө бузулбастан же бузулбастан туруштук бере алат.
2. Жогорку эскирүү туруктуулугу
MEMS аппараттары, адатта, микро-механикалык түзүлүштөрдү камтыйт жана узак мөөнөттүү сүрүлүү жана кыймыл байланыш бөлүктөрүнүн эскиришине алып келиши мүмкүн. Узак мөөнөттүү колдонууда аппараттын туруктуулугун жана эффективдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн бириктирүүчү материал мыкты эскирүүгө туруштук бериши керек.
3. Жогорку тазалык
Жарым өткөргүч өнөр жайы материалдык тазалык боюнча абдан катуу талаптарга ээ. Кандайдыр бир кичинекей булгоочу аппараттын иштебей калышына же иштешинин начарлашына алып келиши мүмкүн. Ошондуктан, байланыш жараянында колдонулган материалдар аппарат иш учурунда тышкы булгануу таасирин тийгизбеши үчүн өтө жогорку тазалыкка ээ болушу керек.
4. Туташтыруунун тактыгы
MEMS түзмөктөрү көбүнчө микрон деңгээлинде, ал тургай нанометрдик деңгээлдеги иштетүү тактыгын талап кылат. Байланыштыруу процесси аппараттын иштешине жана иштешине таасир этпеши үчүн материалдын ар бир катмарынын так орнотулушун камсыз кылышы керек.
Аноддук байланыш
Аноддук байланыш:
● Кремний пластиналар менен айнек, металл жана айнек, жарым өткөргүч жана эритме, жарым өткөргүч менен айнек ортосундагы байланыш үчүн колдонулат
Эвтектоиддик байланыш:
● PbSn, AuSn, CuSn жана AuSi сыяктуу материалдарга тиешелүү
Клей бириктирүү:
● AZ4620 жана SU8 сыяктуу атайын бириктирүүчү желимдерге ылайыктуу атайын бириктирүүчү клейди колдонуңуз
● 4 дюйм жана 6 дюймга тиешелүү
Semicera Custom Bonding кызматы
MEMS иштетүү чечимдеринин өнөр жайынын алдыңкы провайдери катары, Semicera кардарларга жогорку тактык, жогорку туруктуулук менен ыңгайлаштырылган байланыш кызматтарын көрсөтүүгө умтулат. Биздин байланыш технологиясы ар кандай материалдарды, анын ичинде кремний, айнек, металл, керамика ж.б. туташтырууда кеңири колдонулушу мүмкүн, жарым өткөргүч жана MEMS тармактарында жогорку деңгээлдеги колдонмолор үчүн инновациялык чечимдерди камсыз кылат.
Semicera өнүккөн өндүрүштүк жабдуулар жана техникалык топтор бар, жана кардарлардын өзгөчө муктаждыктарына ылайык ылайыкташтырылган байланыш чечимдерди камсыз кыла алат. Бул жогорку температурада жана жогорку басым чөйрөдө ишенимдүү туташуу болобу, же так микро-аппарат байланышы болобу, Semicera ар бир продукт жогорку сапат стандарттарына жооп бере аларын камсыз кылуу үчүн ар кандай татаал жараян талаптарына жооп бере алат.
Биздин салт байланыштыруу кызматыбыз кадимки байланыш процесстери менен эле чектелбейт, ошондой эле ар кандай материалдар, структуралар жана колдонуу талаптары үчүн кесиптик техникалык колдоону камсыз кыла турган металл байланышты, жылуулук кысуу байланышты, чаптама байланышты жана башка процесстерди камтыйт. Мындан тышкары, Semicera кардарлардын ар бир техникалык талаптары так аткарылышын камсыз кылуу үчүн прототибин иштеп чыгуудан массалык өндүрүшкө чейин толук тейлөөнү камсыздай алат.
