SiC капталган графит негизи

негизги компоненттеринин бири катарыMOCVD жабдуулар, графит негизи субстраттын алып жүрүүчүсү жана жылыткыч органы болуп саналат, ал пленкалуу материалдын бирдейлигин жана тазалыгын түздөн-түз аныктайт, ошондуктан анын сапаты эпитаксиалдык баракты даярдоого түздөн-түз таасирин тийгизет, жана ошол эле учурда саны көбөйгөн сайын пайдалануу жана эмгек шарттарын өзгөртүү, аны кийүү үчүн абдан жеңил болуп саналат, керектелүүчү таандык.

Графит мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүккө жана туруктуулукка ээ болсо да, анын негизги компоненти катары жакшы артыкчылыгы барMOCVD жабдуулар, бирок өндүрүш процессинде графит жегич газдардын жана металлдык органикалык заттардын калдыгынан улам порошокту дат басып, графит базасынын кызмат мөөнөтү абдан кыскарат.Ошол эле учурда, түшкөн графит порошок чиптин булганышына алып келет.

Каптоо технологиясынын пайда болушу беттик порошоктун бекитилишин камсыздай алат, жылуулук өткөрүмдүүлүктү жогорулатат жана бул маселени чечүүнүн негизги технологиясы болуп калды.Графит негизиMOCVD жабдууларпайдалануу чөйрөсү, графит базанын беттик каптоо төмөнкү мүнөздөмөлөргө жооп бериши керек:

(1) Графиттин негизин толугу менен ороп коюуга болот, ал эми тыгыздыгы жакшы, антпесе графиттин негизин коррозиялуу газда дат басып калуу оңой.

(2) графит базасы менен айкалыштыруу күчү каптоо бир нече жогорку температура жана төмөнкү температура циклдер кийин түшүп жеңил эмес экенин камсыз кылуу үчүн жогорку болуп саналат.

(3) Бул жогорку температурада жана дат атмосферада каптоо бузулушуна жол бербөө үчүн жакшы химиялык туруктуулук бар.

SiC коррозияга туруктуулуктун, жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүктүн, жылуулук соккусуна каршылыктын жана жогорку химиялык туруктуулуктун артыкчылыктарына ээ жана GaN эпитаксиалдык атмосферада жакшы иштей алат.Мындан тышкары, SiC жылуулук кеңейүү коэффициенти графиттен өтө аз айырмаланат, ошондуктан SiC графиттик негиздин үстүн жабуу үчүн артыкчылыктуу материал болуп саналат.

Азыркы учурда, жалпы SiC негизинен 3C, 4H жана 6H түрү болуп саналат, ал эми SiC ар кандай кристалл түрлөрүн колдонуу ар кандай.Мисалы, 4H-SiC жогорку кубаттуулуктагы түзмөктөрдү чыгара алат;6H-SiC эң туруктуу жана фотоэлектрдик приборлорду жасай алат;GaN түзүлүшү окшош болгондуктан, 3C-SiC GaN эпитаксиалдык катмарын өндүрүү жана SiC-GaN RF түзүлүштөрүн өндүрүү үчүн колдонулушу мүмкүн.3C-SiC да, адатта, белгилүүβ-SiC, жана маанилүү пайдаланууβ-SiC кино жана каптоочу материал катары, ошондуктанβ-SiC учурда каптоо үчүн негизги материал болуп саналат.