Катуу SiC Фокус шакеги

Semicera компаниясынын Solid SiC Focus Ring өнүккөн жарым өткөргүч өндүрүшүнүн талаптарын канааттандыруу үчүн иштелип чыккан заманбап компонент. Жогорку тазалыктан жасалганКремний карбиди (SiC), бул фокустук шакек жарым өткөргүч өнөр жайында, айрыкчаCVD SiC процесстери, плазмалык оюу жанаICPRIE (Индуктивдүү кошулган плазмадагы реактивдүү иондук лейтинг). Өзүнүн өзгөчө эскирүүгө туруктуулугу, жогорку термикалык туруктуулугу жана тазалыгы менен белгилүү, ал жогорку стресс чөйрөлөрүндө узак иштөөнү камсыз кылат.

Жарым өткөргүчтөвафликайра иштетүү, Solid SiC Фокус шакекчелери кургак оюу жана пластиналык оюу тиркемелери учурунда так офортту сактоодо чечүүчү мааниге ээ. SiC фокус шакекчеси плазманы плазманы оюп түшүрүү машинасынын операциялары сыяктуу процесстерде фокустоого жардам берет, бул кремний пластинкаларын оюу үчүн зарыл кылат. Катуу SiC материалы эрозияга теңдешсиз туруктуулукту сунуштайт, бул сиздин жабдууларыңыздын узак мөөнөттүү иштөөсүн камсыз кылат жана жарым өткөргүчтөрдү жасоодо жогорку өткөрүү жөндөмдүүлүгүн сактоо үчүн абдан маанилүү.

Semicera компаниясынан чыккан Solid SiC Focus Ring экстремалдык температурага жана жарым өткөргүч өнөр жайында кеңири таралган агрессивдүү химиялык заттарга туруштук берүү үчүн иштелип чыккан. сыяктуу жогорку тактыктагы милдеттерди аткаруу үчүн атайын иштелип чыкканCVD SiC каптоо, бул жерде тазалык жана туруктуулук биринчи орунда турат. Термикалык соккуга эң сонун туруштук берүү менен, бул продукт эң катаал шарттарда, анын ичинде жогорку температуранын таасиринде туруктуу жана туруктуу иштөөнү камсыз кылат.вафликыртыш процесстери.