SemiceraКремний карбид керамикалык каптооөтө катуу жана тозууга туруктуу кремний карбид (SiC) материалдан жасалган жогорку натыйжалуу коргоочу каптоо болуп саналат. Каптоо көбүнчө субстраттын бетине CVD же PVD процесси менен жайгаштырылаткремний карбидинин бөлүкчөлөрү, сонун химиялык коррозияга туруктуулугун жана жогорку температуранын туруктуулугун камсыз кылуу. Ошондуктан, кремний карбид керамикалык каптоо көп жарым өткөргүч өндүрүштүк жабдуулардын негизги компоненттери колдонулат.
жарым өткөргүч өндүрүшүндө,SiC каптоо1600°Сге чейин өтө жогорку температурага туруштук бере алат, ошондуктан кремний карбид керамикалык каптоо көбүнчө жогорку температурада же коррозиялык чөйрөдө зыянды болтурбоо үчүн жабдууларды же шаймандарды коргоочу катмар катары колдонулат.
Ошол эле учурда,кремний карбид керамикалык каптоокислоталардын, щелочтордун, оксиддердин жана башка химиялык реагенттердин эрозиясына туруштук бере алат жана ар кандай химиялык заттардын коррозияга каршы туруктуулугуна ээ. Ошондуктан, бул продукт жарым өткөргүч өнөр жайында ар кандай дат чөйрөлөр үчүн ылайыктуу болуп саналат.
Мындан тышкары, башка керамикалык материалдар менен салыштырганда, SiC жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүккө ээ жана натыйжалуу жылуулук өткөрө алат. Бул өзгөчөлүк температураны так көзөмөлдөөнү талап кылган жарым өткөргүч процесстеринде жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүктү аныктайтКремний карбид керамикалык каптоожылуулукту бир калыпта таркатууга, жергиликтүү ашыкча ысып кетүүнүн алдын алууга жана аппараттын оптималдуу температурада иштешине жардам берет.
| CVD sic жабуунун негизги физикалык касиеттери | |
| Менчик | Типикалык баалуулук |
| Кристалл структурасы | FCC β фазалык поликристаллдуу, негизинен (111) багытталган |
| тыгыздыгы | 3,21 г/см³ |
| Катуулугу | 2500 Викерс катуулугу (500 г жүк) |
| Grain Size | 2~10μm |
| Химиялык тазалык | 99.99995% |
| Жылуулук сыйымдуулугу | 640 Дж·кг-1· К-1 |
| Сублимация температурасы | 2700℃ |
| Ийилүү күчү | 415 МПа РТ 4-пункту |
| Young's Modulus | 430 Gpa 4pt ийилип, 1300 ℃ |
| Жылуулук өткөргүчтүк | 300Вт·м-1· К-1 |
| Термикалык кеңейүү (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
