
Float Zone Wafer калкыма Zone эритүү ыкмасы (Float Zone эрүү ыкмасы) менен өстүрүлөт, ошондой эле зоналык эрүү пластинасы, FZ пластинасы катары белгилүү, жогорку тазалыктагы кремний пластинасы болуп саналат, кремний пластинкаларынын CZ монокристалл түз тартылган процессин алмаштыра алат.CZ ыкмасы менен өндүрүлгөн пластинкаларга салыштырмалуу, зоналанган пластиналар көптөгөн артыкчылыктарга ээ, мисалы, тигель жок, өндүрүштүк жүктүн аздыгы жана эрүү чекитинин чектөөсү жок, бул аларды күн модулдары, RF түзмөктөрү жана так кубаттуулук түзүлүштөрү сыяктуу колдонмолор үчүн идеалдуу кылат. FZ пластинкаларында кычкылтек жана көмүртек аралашмаларынын концентрациясы төмөн жана азот анын механикалык бекемдигин жакшыртуу үчүн атайын кошулат.
пункт | Аргумент | Сурамжылоо үлгүсү |
Саны: |
| 100шт |
Өсүү ыкмасы: | Float Zone | FZ |
Диаметри: | 50/75/100/150/200/300мм | 100мм |
Түрү/Допант: | P-Type / N-Type / Intrinsic | N-Type |
Багыты: | <1-0-0>/<1-1-0>/<1-1-1>或其它 | <100> |
Каршылык: | 100~30,000 Ом-см | 3000 Ом-см |
Калыңдыгы: | 275 um ~ 775 um | 500um |
Бүтүрүү: | SSP/DSP | DSP |
Батирлер: | Ноч/Эки SEMI стандарттуу батирлер | Ноч |
ЖАА/ЧОГУЛУУ: | <10 мкм | <40um |
TTV: | <5 мкм | <20um |
Баасы: | Prime / Test / Dummy | Prime |
-
Barrel Susceptor үчүн SiC каптоо баррел структурасы
-
Жарым өткөргүч үчүн ылайыкташтырылган SiC керамикалык эффектор...
-
Жогорку сапаттагы кремний карбид менен капталган жылытуу...
-
Вакуум меши үчүн Графит катуу кийиз
-
Тантал карбиди TaC CVD каптоо бажы тетиктери
-
Көмүртек буласынан жасалган графит катуу кийиз