Продукт Description
Биздин компания графит, керамика жана башка материалдардын бетинде CVD ыкмасы менен SiC каптоо процессин камсыздайт, ошондуктан көмүртек жана кремнийди камтыган атайын газдар жогорку температурада реакцияга кирип, жогорку тазалыктагы SiC молекулаларын, капталган материалдардын бетине жайгаштырылган молекулаларды, SIC коргоочу катмарын түзүү.
Негизги өзгөчөлүктөрү:
1. Жогорку температурадагы кычкылданууга каршылык:
кычкылданууга каршылык температура 1600 С чейин жогору болсо дагы абдан жакшы.
2. Жогорку тазалык : жогорку температурада хлорлоо шартында химиялык буу менен жасалган.
3. Эрозияга туруштук берүү: жогорку катуулук, компакт бети, майда бөлүкчөлөр.
4. Коррозияга туруктуулугу: кислота, щелоч, туз жана органикалык реагенттер.
CVD-SIC жабуунун негизги мүнөздөмөлөрү
| SiC-CVD касиеттери | ||
| Кристалл структурасы | FCC β фазасы | |
| тыгыздыгы | г/см³ | 3.21 |
| Катуулугу | Vickers катуулугу | 2500 |
| Дан өлчөмү | мкм | 2~10 |
| Химиялык тазалык | % | 99.99995 |
| Жылуулук сыйымдуулугу | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Сублимация температурасы | ℃ | 2700 |
| Felexural Strength | МПа (RT 4-пункту) | 415 |
| Young's Modulus | Gpa (4pt ийилген, 1300℃) | 430 |
| Термикалык кеңейүү (CTE) | 10-6К-1 | 4.5 |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүк | (Вт/мК) | 300 |
-
Кремнийдин эпитаксиалдык катмары баррлдин сусцепторунда
-
Өнөр жай мештери үчүн графит жылытуу элементтери
-
Жарым өткөргүч кремний карбид вафли кайык болушу мүмкүн ...
-
SiC Coatin менен жарым өткөргүчтүү эпитаксиалдык реактор...
-
ICP иштетүү процесстери үчүн SiC пин лотоктору ...
-
MOCVD субстрат үчүн жылытуу элементтери